[实用新型]流量计

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种宽量程、高精度的流量计，尤其涉及一种宽量程、高精度的气体质量流量计。

背景技术

流量计广泛应用于半导体制造、真空镀膜、分析、化工、环境等领域的流体测量，因而需要在全量程范围内具有较高的测量精度。然而，当量程的范围较大时，现有的流量计在全量程范围内通常无法保证1%以下的测量精度，在某个量程范围内误差甚至会达到100%，因而现有的流量计不能保证全量程范围内的测量精度，特别是存在低端测量范围精度低的问题。

为了解决这种问题，用户通常会购买多台流量计并互相替换使用，此外，以往还存在一种集成了多台流量计的集成设备。但是，替换使用多台流量计以及采用上述集成设备会带来成本高、系统庞大、替换过程繁琐等问题。

此外，虽然也可以通过提高零件加工精度、提高传感器精度来提高全量程范围内的测量精度，但这种方法会大幅提高成本。

实用新型内容

鉴于上述问题，本实用新型的目的在于提供一种可以针对0到满量程之间的流体自动切换量程，并实现高精度信号输出的流量计。

为了解决上述问题，本实用新型的流量计包括阀体、流体进出通道，此外还包括：多个旁路通道；多个截止阀，各截止阀具有不同的流量范围，各旁路通道分别与各截止阀相对应；传感器，检测流入所述旁路通道的流体的流量；控制部，根据所述传感器的检测结果选择相应流量范围的截止阀使其接通。

本实用新型的流量计优选为气体质量流量计，但也可以是液体流量计。

在本实用新型的流量计中，所述控制部可以首先使最小流量范围的截止阀接通，当判断所述传感器的测量结果是最小流量范围时，输出测量值，当判断所述传感器的测量结果不是最小流量范围时，关闭所述截止阀并依次使高段流量范围的截止阀接通并进行判断，来选择相应流量范围的截止阀。

作为优选实施例，当流量在两个截止阀流量范围的临界值附近变化的情况下，所述控制部进行控制，当流量从小于临界值向大于临界值增加时，所述控制部以临界值为切换点使大流量范围的截止阀接通，当流量从大于临界值向小于临界值减小时，所述控制部以小于临界值的规定点为切换点使小流量范围的截止阀接通。

作为优选实施例，在各所述旁路通道中可以设置有分流器，所述分流器调节进入所述传感器的流量比例，以使一定量的流体流入所述传感器。

作为优选实施例，本实用新型中传感器的数量可以等于旁路通道的数量，两者一一对应。

作为另一个实施例，传感器的可以数量少于旁路通道的数量，该传感器用于检测一个或多个旁路通道的流量。

作为优选实施例，所述传感器为热式传感器。

作为另一个实施例，在所述热式传感器的上游设置有压力传感器或风速传感器。

作为另一个实施例，所述传感器可以为压力传感器或风速传感器。

作为一个实施例，所述控制部包括无线通讯部，所述控制部利用所述无线通讯部接收到的来自外部无线终端的信号对流量计进行控制。

按照本实用新型，可以针对0到满量程之间的流体自动切换量程，实现了高精度信号输出。

附图说明

图1是本实用新型一优选实施例的气体质量流量计内部结构立体示意图。

图2是图1所示实施例的气体质量流量计的主阀体结构立体示意图。

图3是图2所示主阀体内部结构的剖面示意图。

附图标记说明

1  第一电磁截止阀

2  第二电磁截止阀

3  第三电磁截止阀

4  第四电磁截止阀

5  主阀体

6  第一传感器

7  第二传感器

8  第三传感器

9  第四传感器

10 出气阀体

11 截止阀出气孔

12 截止阀进气孔

13 传感器出气孔

14 传感器进气孔

15 进气通道

16 出气通道

17 分流芯

18 旁路通道

具体实施方式

本实用新型的流量计用于流体的流量测量，特别适用于过程控制中的流体流量的精密测量。该流量计的测量对象可以是气体和液体，流量可以是体积流量和质量流量。以下，参照附图对作为本实用新型流量计一例的气体质量流量计进行说明。

图1是本实用新型一优选实施例的气体质量流量计的内部结构立体示意图。