[实用新型]用于真空涂层设备的多功能节流真空管道结构及其控制系统

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种用于真空涂层设备的多功能节流型真空管道结构及其控制系统，属于真空涂层设备技术领域。 

背景技术

油扩散泵因为具有结构简单、造价低、维护成本低廉等优点，所以在高真空设备及真空涂层领域中应用非常广泛。但是，现有常规油扩散泵的最佳抽速是在油扩散泵入口压力为10^-1Pa以下的工况，如果高于这个压力，油扩散泵的抽速就会不稳定，而且抽气能力急速下降，这样将导致涂层工艺操作时，真空室的压力波动很大。随着真空涂层工艺技术的发展，真空涂层工艺压力已经提升到10¹Pa左右，现有常规油扩散泵其技术参数已经不能完全满足真空涂层工艺的需要，所以如何对真空系统及相关设备进行技术改进，使真空室压力符合涂层工艺参数要求，以实现稳定油扩散泵抽速，保证涂层工艺压力稳定性，是本实用新型要解决的技术问题之一。 

在现有常规的油扩散泵应用上，在油扩散泵入口处一般设置有水冷冷井，用于防止扩散泵的油蒸气返回到真空室。但是实际应用时依然会有微量的油分子越过水冷冷井，并通过连接管道返回到真空室。如何进一步降低扩散泵油的返油污染问题，也是本实用新型需要解决的技术问题。 

在真空涂层设备工作中，真空室开门时，真空室内壁都会暴露在空气中，这时真空室内壁会吸附空气中的水气，当真空室重新关门抽真空时，所吸附的水气会缓慢地释放出来，影响涂层系统抽真空的速度，降低生产效率。提高真空室的抽真空速度，也是本实用新型需要解决的技术问题。 

实验证明，连接真空室到油扩散泵的管道结构对维持稳定真空室的压力，降低扩散泵油的返油污染问题，同时提高对真空室的抽真空速度，起着非常重要的作用。为此，申请人对用于真空涂层的多功能节流型真空管道结构及其控制系统进行了深入的研究。 

实用新型内容

本实用新型的目的之一，是为了解决上述现有技术的油扩散泵不能满足涂层工艺压力的问题，提供一种用于真空涂层设备的多功能节流型真空管道结构，采用这种真空管道连接在油扩散泵入口阀门与真空室之间，通过控制真空管道内的通径，调节气体通过量以稳定抽速。具有结构简单、使用方便、成本低的特点。 

本实用新型的目的之二，是为了提供一种具有多功能节流型真空管道结构的用于真空涂层设备的节流控制系统。 

本实用新型的目的之一可以通过采取以下技术方案达到： 

用于真空涂层设备的多功能节流型真空管道结构，其结构特点在于：在真空管道的两端设有连接法兰和密封圈，在真空管道的外侧壁设有冷却套，在真空管道的内腔设有若干个节流挡板结构。节流挡板结构由挡板连接角度调节单元构成，角度调节单元的驱动输出端与挡板活动连接，通过角度调节单元调节挡板的角度，控制真空管道内的气体通过量以稳定抽速；密封圈设置在连接法兰端面的环形凹槽内，冷却套环绕在真空管道的四周，形成对真空管道的包裹结构。冷却套的首、尾端连接到连接法兰的端面上，在冷却套的内腔设有冷媒，冷却套的内腔与连接法兰连通。 

本实用新型的目的之一还可以通过采取以下技术方案达到： 

进一步地，可以在冷却套的一端设置有冷媒入口、在冷却套的另一端设有冷媒出口。冷媒由外置的超低温冷媒设备提供，通过超低温冷媒在冷却套内的蒸发吸热现象，保持真空管道的温度在抽真空过程中处于超低温的状态，把越过油扩散泵水冷冷井的油分子冷凝在真空管道内，同时也将真空室内的水气分子冷凝并冻结在真空管道的内壁，从而达到降低扩散泵油的返油污染问题，以及提高真空设备的抽真空速度的目的。 

冷媒由外置的超低温冷媒设备提供，通过超低温冷媒在冷却套内的蒸发吸热现象，保持真空管道的温度在抽真空过程中处于超低温的状态，使真空管道内的油分子和水气分子被冷凝下来，从而达到降低扩散泵油的返油污染问题，以及提高真空设备的抽真空速度的目的。 

进一步地，所述真空管道为圆形结构，节流挡板结构中，挡板可以为圆形节流板，角度调节单元可以由转轴构成；转轴的下端在真空管道的内腔与圆形节流板活动连接，转轴的上端穿过真空管道的内腔壁外露、形成角度调节驱动端。 

进一步地，所述真空管道为方形结构，节流挡板结构中，挡板可以为方形节流挡板，可以由若干片百页窗帘片构成，该若干片百页窗帘片与角度调节单元连接构成百页窗式连接结构，角度调节单元的调节控制端伸出真空管道外壁，形成角度调节驱动端。 

进一步地，所述冷却套的首、尾两端可以各通过焊接方式焊接到连接法兰端面上。 

本实用新型的目的之二可以通过采取以下技术方案达到：