[实用新型]真空磁控导引装置

权利要求书

1.一种真空磁控导引装置，其特征在于，包含：

一个输送管体，该输送管体为非磁性的； 

一个外套环，相对于所述输送管体能够作轴向移动或旋转运动的套设于该输送管体外，该外套环内设置有至少一对外环磁铁；

一根能够由输送管体外的外套环的运动来控制其在输送管体内沿输送管体轴向移动或旋转运动的内轴座管，该内轴座管以与该输送管体同轴向的方式设置于该输送管体内，该内轴座管的中心设有一根连接轴，该连接轴设有一个连接端，该连接端突伸出该内轴座管的前端并由外套环控制其在该输送管体内的位置；以及

该内轴座管内设置有至少一对内轴磁铁，各内轴磁铁的设置位置与其所对应的外环磁铁的位置相对且相互磁吸。

2.如权利要求1所述的真空磁控导引装置，其特征在于：分别设置在该外套环及该内轴座管内的外环磁铁及内轴磁铁的数量为数个，以增加该外套环对该内轴座管的控制解析度。

3.如权利要求1所述的真空磁控导引装置，其特征在于，该外套环包含:一个开口端具有阶级凸缘的外套磁铁座管、至少一个外环磁铁组、外盖壳及一对前、后盖壳；

该外环磁铁组包含至少两个外环磁铁；

该外套磁铁座管的外壁面设有至少一个沟槽组，该沟槽组包含两沟槽，各沟槽的位置在外壁面且相互对应，各沟槽中分别用于容置有该外环磁铁组中的一个外环磁铁；

该外盖壳套置在该外套磁铁座管外，其一端抵顶于该外套磁铁座管的阶级凸缘时构成限位，另一端封装该前盖壳后构成限位；以及

该外套磁铁座管的阶级凸缘端通过该后盖壳封装。

4.如权利要求3所述的真空磁控导引装置，其特征在于：该外套环的前盖壳及后盖壳的中心皆设有一个开孔，各开孔的位置及大小与该外套磁铁座管的开口相对应。

5.如权利要求3所述的真空磁控导引装置，其特征在于：该外环磁铁组中的外环磁铁借助该沟槽组中各沟槽相互对应的位置关系相互产生磁吸，该外环磁铁组再借助各外环磁铁与所属的沟槽之间的卡合固定在该外套磁铁座管上。

6.如权利要求3所述的真空磁控导引装置，其特征在于：该沟槽组为多组，各沟槽组以外套磁铁座管的轴心为中心相距特定角度环设于对应的外壁面上；各沟槽组所设置的外环磁铁与其相邻沟槽内的外环磁铁相互磁吸，达到稳定的安装状态。

7.如权利要求3或6所述的真空磁控导引装置，其特征在于：同一沟槽内层迭设有多层外环磁铁，各层外环磁铁之间以非磁性物质间隔。

8.如权利要求1所述的真空磁控导引装置，其特征在于，该内轴座管包含:至少一个内轴座管延伸组及一个内轴前盖壳；

该内轴座管延伸组内包含一个磁铁座管、至少一个内轴磁铁组、内轴外盖壳及内轴后盖壳；

该内轴磁铁组包含至少两个内轴磁铁；

该磁铁座管的外壁面设有至少一个沟槽组，该沟槽组包含两个沟槽，各沟槽的位置在该磁铁座管的外壁面且相互对应，各沟槽分别用于容置有该内轴磁铁组中的一个内轴磁铁；该内轴磁铁组中的内轴磁铁之间通过该沟槽组中各沟槽相互对应的位置关系相互产生磁吸，该内轴磁铁组再借助各内轴磁铁与所属沟槽之间的卡合固定在该磁铁座管上；以及

该内轴外盖壳用于套置在该磁铁座管外，其一端抵顶封装于该内轴后盖壳的阶级凸缘构成限位，另一端再由封装后的该内轴前盖壳构成限位；

该内轴座管的内轴前盖壳及该内轴后盖壳的中心皆设有一个开孔，各开孔的位置及大小与该磁铁座管的中心孔相对应。

9.如权利要求8所述的真空磁控导引装置，其特征在于：该内轴座管由多组内轴座管延伸组构成，各内轴座管延伸组是以同心方式堆迭的，其堆迭顺序是一个内轴座管延伸组的内轴外壳盖盖缘与前一个内轴座管延伸组的后盖壳的阶级段差处连接，最前面的内轴座管延伸组的内轴外壳盖开口部分通过该内轴前盖壳封装。

10.如权利要求8所述的真空磁控导引装置，其特征在于：还包含一个导引件，其设置在该内轴座管的尾端，并通过其近中心处的一个连接孔洞与该连接轴的尾端连接；

该导引件上设有至少三个轴承座，分别设置于该导引件的一个侧边上，各轴承座上设有一个轴承，以及至少一个弹簧机构，该弹簧机构设置于一个轴承座与其所对应的导引件侧边之间，该轴承座与该导引件的连接孔洞中心之间的距离通过该弹簧机构借助该轴承与该输送管体内壁相互抵顶的作用力自动调整。