[实用新型]平面靶材绑定用加热平台有效
| 申请号： | 201320127912.6 | 申请日： | 2013-03-20 |
| 公开（公告）号： | CN203181249U | 公开（公告）日： | 2013-09-04 |
| 发明（设计）人： | 周贤界;郑子涛;陈常清;甘志俭;张家燕;江爱萍 | 申请（专利权）人： | 韶关西格玛技术有限公司 |
| 主分类号： | H05B3/00 | 分类号： | H05B3/00;H05B3/02;C23C14/34 |
| 代理公司： | 广州市南锋专利事务所有限公司 44228 | 代理人： | 刘媖 |
| 地址： | 512030 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 平面 绑定 加热 平台 | ||
【权利要求书】：
1.一种平面靶材绑定用加热平台，其特征在于：包括支架（1）,支架（1）上设置有绝缘陶瓷板，陶瓷板上装有电阻丝（2），电阻丝（2）上方从下到上依次设置有导热石墨板（3）、铝合金导热板（4）、柔性导热板（5）、保温罩（6）。
2.根据权利要求1所述的平面靶材绑定用加热平台，其特征在于：还包括用于测定铝合金导热板（4）温度的热电偶（7）。
3.根据权利要求2所述的平面靶材绑定用加热平台，其特征在于：所述热电偶（7）插在铝合金导热板（4）中。
4.根据权利要求1或2或3所述的平面靶材绑定用加热平台，其特征在于：还包括用于测定柔性导热板（5）表面温度的表面温度计（8）。
5.根据权利要求1或2或3所述的平面靶材绑定用加热平台，其特征在于：所述保温罩（6）由包裹着保温石棉的薄铝片构成。
6.根据权利要求1或2或3所述的平面靶材绑定用加热平台，其特征在于：所述支架（1）的四个脚设置有四个带刹车片的万向轮（10）。
7.根据权利要求6所述的平面靶材绑定用加热平台，其特征在于：所述万向轮（10）上设置有可以调节水平的螺丝底座（11）。
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