[实用新型]一种网版曝光对准治具有效
申请号: | 201320128638.4 | 申请日: | 2013-03-18 |
公开(公告)号: | CN203311160U | 公开(公告)日: | 2013-11-27 |
发明(设计)人: | 吴晓松;蒋其铭;宋亮峰 | 申请(专利权)人: | 无锡尚德太阳能电力有限公司 |
主分类号: | G03F9/00 | 分类号: | G03F9/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 214028 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 曝光 对准 | ||
技术领域
本实用新型涉及太阳电池制造领域,特别涉及一种网版曝光对准治具。
背景技术
在硅太阳电池的产业化制造过程中,硅太阳电池的电极(例如主栅电极、副栅电极、背电极等)基本都是通过丝网印刷工艺形成的,即将金属浆料通过丝网印刷工艺印刷在对应的位置并通过烘干和烧结等热处理形成对应的电极。丝网印刷工艺中的网版的印刷图案成形质量对印刷的质量有着非常重要的影响。
在制作太阳电池用网版的过程中,首先将印刷图案制作在底版上,之后在待曝光网版的钢丝网等丝网上涂敷感光胶,接着将底板设置在曝光光源和待曝光网版之间,然后进行曝光工艺以将印刷图案复制至感光胶上,之后进行显影工艺以去除已感光的光刻胶,从而形成承载有印刷图案的网版。
上述现有技术中曝光前的底版和待曝光网版间的对准是通过人工测量方式进行的,具体过程为首先将待曝光网版固定,之后将底板放置在待曝光网版上,然后通过人工测量方式来确定底版上的图案与待曝光网版的具体相对位置,最后通过粘结方式来固定底板和待曝光网版。该种对准方式存在着对准难度大且精度难以保证的问题,使得后续曝光所得的印刷图案在网版中的位置与其预设位置存在偏差,从而影响后续太阳电池及对应组件的成品率。
因此,如何提供一种网版曝光对准治具以克服人工测量后对准方 式所存在的对准困难且精准度差的问题,已成为业界亟待解决的技术问题。
实用新型内容
本实用新型的目的是提供一种网版曝光对准治具,通过所述网版曝光对准治具可提高曝光前待曝光网版和底板间的对准难度和精准度。
为实现上述目的,本实用新型将提供一种网版曝光对准治具,包括:基座,用于设置待曝光网版及底版,其上设置有多个定位销,所述待曝光网版边框上设置有与多个定位销相匹配的多个第一定位孔,所述底版上设置有多个对准标记;以及对准板,其上设置有多个第二定位孔和多个对准孔,所述多个第二定位孔用于与所述多个定位销匹配连接,所述多个对准孔用于通过与所述多个对准标记对准以对准底版与待曝光网版。
在一较佳实施例中,所述对准孔的孔径为0.5~3mm。
在一较佳实施例中,所述对准标记为十字形或米字形。
在一较佳实施例中,所述基座上设置有四个定位销,所述四个定位销沿一正方形排布。
在一较佳实施例中,所述对准板为四角星形或正方形,所述对准板包括四个第二定位孔和四个对准孔,所述四个第二定位孔分别位于所述对准板的四个顶角上且分别用于与四个定位销插接,所述四个对准孔沿一正方形排布。
在一较佳实施例中,所述待曝光网版上覆盖有待曝光丝网,所述 待曝光丝网上涂敷有感光胶,所述底版设置在待曝光丝网和曝光光源之间。
与现有技术中采用人工测量方式对准底板和待曝光网版相比,本实用新型的网版曝光对准治具包括基座和对准板,基座上设置有多个定位销,所述待曝光网版边框和对准板上分别设置有与多个定位销相匹配的多个第一定位孔和第二定位孔,通过与定位销插接固定在基座上,对准板上还设置有多个对准孔,从而通过对准孔与底板上多个对准标记的对准来实现底版与待曝光网版的对准,如此可降低对准的难度且提高对准的精准度。
附图说明
图1为本实用新型的网版曝光对准治具的主视图;
图2为本实用新型的网版曝光对准治具的立体示意图;
图3为本实用新型的网版曝光对准治具沿图1的A-A向剖视图。
具体实施方案
下面结合具体实施例及附图来详细说明本实用新型的目的及功效。
参见图1至图3,本实用新型的网版曝光对准治具包括基座1和对准板4,所述基座1用于设置待曝光网版2及底版3,且其上设置有多个定位销10。在本实施例中,所述基座1上设置有四个定位销10,所述四个定位销10沿一正方形排布。
所述待曝光网版2边框上设置有与多个定位销10相匹配的多个第一定位孔H1,所述待曝光网版2上覆盖有待曝光丝网20,所述待曝光丝网20上涂敷有感光胶,所述底版3设置在待曝光丝网20和曝光光源(未图示)之间。
所述底版3上设置有多个对准标记(未图示),所述对准标记为十字形或米字形等。
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