[实用新型]用于低压外延设备的进气口插件

权利要求书

1.一种用于低压外延设备的进气口插件，成对安装于低压外延设备进气口处，使出气侧形成圆弧面，其特征在于：所述进气口插件是一侧面为内凹弧面的长方体，其第一侧面（C）与顶面（A）和底面（B）垂直并且与第二侧面（D）的相对，第三侧面（E）和第四侧面（F）相对并且与第一侧面（C）和第二侧面（D）垂直；

所述进气口插件中间具有一隔离壁（G），将所述进气口插件分成内侧出气口（H）和外侧出气口（I）；

所述内侧出气口为一全敞开式通孔，位于所述隔离壁靠近底面（B）的一侧；

所述外侧出气口为多个导流通孔（K）组成，位于所述隔离壁靠近顶面（A）的一侧，所述导流通孔间距自底面（B）向顶面（A）的方向逐渐增大。

2.如权利要求1所述的低压外延设备的进气口插件，其特征在于：所述进气口插件为石英材质。

3.如权利要求2所述的低压外延设备的进气口插件，其特征在于：所述进气口插件长（a）为130mm±5mm，厚（b）为17mm±1mm，顶面（A）的长（c）为100mm±10mm,底面（B）的长（d）为40mm±5mm。

4.如权利要求3所述的低压外延设备的进气口插件，其特征在于：所述内侧出气口的长（e）为55mm±10mm，宽（f）为7mm±5mm。

5.如权利要求4所述的低压外延设备的进气口插件，其特征在于：所述外侧出气口的导流通孔（K）为3至5个。

6.如权利要求5所述的低压外延设备的进气口插件，其特征在于：所述外侧出气口的导流通孔（K）直径（g）为8mm±5mm，导流通孔间距比为1：2：3：4：5，第一个导流通孔和最后一个导流通孔分别位于所述外侧出气口的两端，所述第一个导流通孔和最后一个导流通孔孔中心与所述外侧出气口端点距离（h）为9mm±5mm。