[实用新型]晶片表面贴蓝膜装置有效
申请号: | 201320130409.6 | 申请日: | 2013-03-21 |
公开(公告)号: | CN203218232U | 公开(公告)日: | 2013-09-25 |
发明(设计)人: | 邹兰华 | 申请(专利权)人: | 浙江水晶光电科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
代理公司: | 杭州杭诚专利事务所有限公司 33109 | 代理人: | 尉伟敏;吕军林 |
地址: | 318000 浙江省台州市*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 晶片 表面 贴蓝膜 装置 | ||
1. 一种晶片表面贴蓝膜装置,包括机架,用于固定晶片的固定结构设置在机架上,在机架上设有切刀组件,其特征在于,切刀组件可滑动地设置在机架上,在机架上设有刀模板,刀模板用于切刀组件中的切刀在其上刻划。
2.根据权利要求1所述的晶片表面贴蓝膜装置,其特征在于,所述切刀组件与刀模板之间设有联动机构,在联动机构的传动作用下,切刀组件与刀模板之间作相反方向联动。
3.根据权利要求2所述的晶片表面贴蓝膜装置,其特征在于,所述联动机构包括上齿条、下齿条和齿轮,下齿条固定在切刀组件上,上齿条固定在刀模板上,齿轮可转动地设置在机架上,上齿条和下齿条均与齿轮啮合。
4.根据权利要求3所述的晶片表面贴蓝膜装置,其特征在于,所述齿轮包括同轴设置的大齿轮和小齿轮,上齿条与小齿轮啮合,下齿条与大齿轮啮合。
5.根据权利要求1、2、3或4所述的晶片表面贴蓝膜装置,其特征在于,所述切刀组件包括“冂”形架,“冂”形架上设有滑杆,滑杆上可滑动地设有按压式的切刀。
6.根据权利要求5所述的晶片表面贴蓝膜装置,其特征在于,在“冂”形架上于滑杆的下方可转动地设有压辊,压辊与滑杆平行设置,压辊偏向于滑杆的外侧。
7.根据权利要求1、2、3或4所述的晶片表面贴蓝膜装置,其特征在于,所述的固定结构包括机架面板,在机架面板上设有若干吸气孔,这些吸气孔之间通过形成于机架面板上的沟槽相通,吸气孔与吸气管相通。
8.根据权利要求7所述的晶片表面贴蓝膜装置,其特征在于,在机架面板上设有沉坑,所述的吸气孔及沟槽位于沉坑径向内侧,在沉坑的底面上设有若干通孔,通孔位于吸气孔的外侧,通孔与通气管相通;在机架面板上设有与沉坑相通的圆孔,圆孔的深度大于沉坑的深度。
9.根据权利要求1、2、3或4所述的晶片表面贴蓝膜装置,其特征在于,机架上与切刀组件相对的一侧设有支架,支架上分别设有蓝膜滚筒和保护膜滚筒,蓝膜滚筒位于保护膜滚筒的上方,原料滚筒和保护膜滚筒通过传动机构实现联动。
10.根据权利要求9所述晶片表面贴蓝膜装置,其特征在于,所述支架上设有防尘罩,防尘罩罩住原料滚筒。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造