[实用新型]晶片表面贴蓝膜装置有效

专利信息
申请号: 201320130409.6 申请日: 2013-03-21
公开(公告)号: CN203218232U 公开(公告)日: 2013-09-25
发明(设计)人: 邹兰华 申请(专利权)人: 浙江水晶光电科技股份有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67
代理公司: 杭州杭诚专利事务所有限公司 33109 代理人: 尉伟敏;吕军林
地址: 318000 浙江省台州市*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 晶片 表面 贴蓝膜 装置
【权利要求书】:

1. 一种晶片表面贴蓝膜装置,包括机架,用于固定晶片的固定结构设置在机架上,在机架上设有切刀组件,其特征在于,切刀组件可滑动地设置在机架上,在机架上设有刀模板,刀模板用于切刀组件中的切刀在其上刻划。

2.根据权利要求1所述的晶片表面贴蓝膜装置,其特征在于,所述切刀组件与刀模板之间设有联动机构,在联动机构的传动作用下,切刀组件与刀模板之间作相反方向联动。

3.根据权利要求2所述的晶片表面贴蓝膜装置,其特征在于,所述联动机构包括上齿条、下齿条和齿轮,下齿条固定在切刀组件上,上齿条固定在刀模板上,齿轮可转动地设置在机架上,上齿条和下齿条均与齿轮啮合。

4.根据权利要求3所述的晶片表面贴蓝膜装置,其特征在于,所述齿轮包括同轴设置的大齿轮和小齿轮,上齿条与小齿轮啮合,下齿条与大齿轮啮合。

5.根据权利要求1、2、3或4所述的晶片表面贴蓝膜装置,其特征在于,所述切刀组件包括“冂”形架,“冂”形架上设有滑杆,滑杆上可滑动地设有按压式的切刀。

6.根据权利要求5所述的晶片表面贴蓝膜装置,其特征在于,在“冂”形架上于滑杆的下方可转动地设有压辊,压辊与滑杆平行设置,压辊偏向于滑杆的外侧。

7.根据权利要求1、2、3或4所述的晶片表面贴蓝膜装置,其特征在于,所述的固定结构包括机架面板,在机架面板上设有若干吸气孔,这些吸气孔之间通过形成于机架面板上的沟槽相通,吸气孔与吸气管相通。

8.根据权利要求7所述的晶片表面贴蓝膜装置,其特征在于,在机架面板上设有沉坑,所述的吸气孔及沟槽位于沉坑径向内侧,在沉坑的底面上设有若干通孔,通孔位于吸气孔的外侧,通孔与通气管相通;在机架面板上设有与沉坑相通的圆孔,圆孔的深度大于沉坑的深度。

9.根据权利要求1、2、3或4所述的晶片表面贴蓝膜装置,其特征在于,机架上与切刀组件相对的一侧设有支架,支架上分别设有蓝膜滚筒和保护膜滚筒,蓝膜滚筒位于保护膜滚筒的上方,原料滚筒和保护膜滚筒通过传动机构实现联动。

10.根据权利要求9所述晶片表面贴蓝膜装置,其特征在于,所述支架上设有防尘罩,防尘罩罩住原料滚筒。

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