[实用新型]基于寄生运动原理的高效微阵列加工装置

权利要求书

1.一种基于寄生运动原理的高效微阵列加工装置，其特征在于：包括z向粗定位单元（8）、z向精密定位单元、金刚石工具头加工运动生成单元、试件定位与安装单元以及基础支撑单元，所述的z向粗定位单元（8）、试件定位与安装单元安装在基础支撑单元上，z向精密定位单元和金刚石工具头加工运动生成单元安装在z向粗定位单元（8）上。

2.根据权利要求1所述的基于寄生运动原理的高效微阵列加工装置，其特征在于：所述的基础支撑单元由底座（1）和龙门立柱（2）组成。

3.根据权利要求1所述的基于寄生运动原理的高效微阵列加工装置，其特征在于：所述的试件定位与安装单元包括导轨滑块组件（13）、y向定位单元（14）和x向定位单元（15），试件（12）通过熔融石蜡粘贴在导轨滑块组件（13）上面；y向定位单元（14）和x向定位单元（15）为伺服电机通过滚珠丝杠带动动子沿导轨实现直线运动的结构，可以实现试件（12）沿x向和y向的定位。

4.根据权利要求1所述的基于寄生运动原理的高效微阵列加工装置，其特征在于：所述的z向粗定位单元（8）与y向定位单元（14）、x向定位单元（15）具有相同的驱动和传动形式，可以实现金刚石工具头（11）沿z向的粗定位。

5.根据权利要求1所述的基于寄生运动原理的高效微阵列加工装置，其特征在于：所述的z向精密定位单元包括z向精密定位铰链（5）、压电叠堆b（6）、预紧螺钉（7），压电叠堆b（6）嵌入在z向精密定位铰链（5）方槽内，并通过预紧螺钉（7）实现预紧。

6.根据权利要求1所述的基于寄生运动原理的高效微阵列加工装置，其特征在于：所述的金刚石工具头加工运动生成单元包括压电叠堆a（3）、驱动铰链（4）、应变片（9）、锁紧螺钉（10）、金刚石工具头（11），压电叠堆a（3）嵌入在驱动铰链（4）的凹槽内，并通过薄铜片进行预紧；驱动铰链（4）具有平行四边形放大和杠杆放大两级放大结构，应变片（9）粘贴在驱动铰链（4）双圆孔薄弱区域处，并搭建成全桥测量形式；金刚石工具头（11）通过锁紧螺钉（10）安装在驱动铰链（4）前端的圆孔中。