[实用新型]大尺寸硅片清洗装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种硅片清洗装置，尤其是一种大尺寸硅片清洗装置。

背景技术

随着近年来半导体产业的飞速发展，对硅片的要求越来越高，尤其是对于8英寸及以上硅片的清洗工艺提出了更高的要求，且目前业内清洗硅片的方法大多是针对2-6英寸硅片的。硅晶圆的生产过程中从硅单晶棒开始，一般主要包括切片、倒角、背处理、抛光、清洗到最终取得完美镜面的抛光片结束，期间，从腐蚀片开始对硅片表面形貌及环境的颗粒度都有较高的要求。硅片表面研磨后的损伤层比较厚，需要经过化学腐蚀去除，化学腐蚀本身也是个化学抛光的过程。

现有的硅片清洗工艺一般包括超声清洗、腐蚀、甩干等步骤，在腐蚀工艺这个步骤主要包括酸腐蚀和碱腐蚀。酸腐蚀工艺即使用氢氟酸、硝酸、冰乙酸的混合溶液进行腐蚀，这几种酸都是危险化学药品，尤其是氢氟酸对人体骨骼器官伤害很大，并且工艺过程中产生的氟化氢等有毒气体，极度危害人体健康；且酸腐蚀为各向异性腐蚀，几何参数不易控制。反观碱腐蚀工艺，不产生有毒气体，几何参数容易控制，当去除完损伤层之后，反应速率几乎趋向于零，最后获得表面形貌较好的硅片，所以选取碱腐蚀工艺。

但是遗憾的是，通常清洗混合液配比不当、清洗时间、水温控制不好等问题，清洗的硅片或多或少还存在沾污、划痕，花斑问题，其合格率只有90%左右，造成相当的损失。现有技术的硅片清洗工艺中，尤其是碱腐蚀过程中，需要大量的碱液，完全淹没硅片，造成大量浪费、环境境污染严重。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是提供一种结构简单且适用于大尺寸的硅片的大尺寸硅片清洗装置。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供一种大尺寸硅片清洗装置，包括支撑轴、传动臂以及花篮；所述支撑轴和花篮之间通过传动臂相互连接；所述支撑轴内设置有可调频动力轴，可调频动力轴上设置有可调频动力轴齿轮；所述花篮上设置有花篮动力轴，花篮动力轴上设置有花篮动力轴齿轮；传动臂内设置有传动链条，所述的可调频动力轴齿轮和花篮动力轴齿轮之间通过传动链条相互连接。

作为对本实用新型所述的大尺寸硅片清洗装置的改进：所述支撑轴的左右两侧均设置传动臂，所述的两个传动臂之间设置有耐腐蚀棒。 

作为对本实用新型所述的大尺寸硅片清洗装置的进一步改进：所述耐腐蚀棒的两端设置有螺母。

本实用新型的大尺寸硅片清洗装置中，将大尺寸硅片插入花篮中，再将花篮浸泡在氢氧化钾溶液中，通过氢氧化钾溶液对大尺寸硅片进行清洗；而氢氧化钾溶液对大尺寸硅片进行清洗的过程中，大尺寸硅片通过花篮带动后旋转，增加清洗的效率。而花篮通过链条与支撑轴进行连接，并通过大功率的发动机带动支撑轴转动，再由支撑轴通过链条带动花篮转动，通过这种链条传动的方式，可以增加花篮转动的时候的稳定性，而通过耐腐蚀棒的固定支撑作用，可以使得本实用新型的清洗装置快速并且随意的更换不一样尺寸的花篮，以适应多种尺寸的硅片清洗。

附图说明

下面结合附图对本实用新型的具体实施方式作进一步详细说明。

图1是本实用新型的大尺寸硅片清洗装置的主要结构示意图；

图2是图1的侧视结构示意图；

图3是实际工作的时候的结构示意图。

具体实施方式

图1~图3给出了一种大尺寸硅片清洗装置，包括支撑轴1、传动臂11以及花篮21。支撑轴1的左端通过传动臂11与花篮21的左端相连接（转动连接）；支撑轴1的右端通过传动臂11与花篮21的右端相连接（转动连接）；支撑轴1内设置有可调频动力轴2，可调频动力轴2的左端和右端均固定有可调频动力轴齿轮3；花篮21内固定有花篮动力轴23，花篮动力轴23的左端与右端均固定有花篮动力轴齿轮22；传动臂11内设置有传动链条12；左端的可调频动力轴齿轮3和花篮动力轴齿轮22之间通过一个传动臂11内的传动链条12相互连接；右端的可调频动力轴齿轮3和花篮动力轴齿轮22之间通过另外一个传动臂11内的传动链条12相互连接。

左端的传动臂11和右端的传动臂11之间通过耐腐蚀棒13相互连接，耐腐蚀棒13的左端通过螺母14拧紧，耐腐蚀棒13的右端通过另外一颗螺母14拧紧；通过耐腐蚀棒13将左端的传动臂11和右端的传动臂11相互固定，可以增加稳定性，而耐腐蚀棒13的左右两端分别通过螺母14拧紧固定，而需要更换大尺寸的花篮21的时候，只需要拧开两个螺母14，就能调节两根传动臂11之间的距离，再更换上大尺寸的花篮21，再将两个螺母14拧紧；花篮21上设置有卡槽，卡槽上设置有卡索。

实际工作的时候，如下两个实施例所示，步骤如下：

实施例1（八寸硅片的清洗）：