[实用新型]MEMS麦克风有效
申请号: | 201320137035.0 | 申请日: | 2013-03-25 |
公开(公告)号: | CN203193886U | 公开(公告)日: | 2013-09-11 |
发明(设计)人: | 庞胜利;宋青林;孙德波;李英岭 | 申请(专利权)人: | 歌尔声学股份有限公司 |
主分类号: | H04R19/04 | 分类号: | H04R19/04 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 261031 山东省潍*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | mems 麦克风 | ||
1.一种MEMS麦克风,包括由线路板和外壳包围形成的封装结构,所述封装结构内部所述线路板上设有MEMS声电芯片,与所述MEMS声电芯片相对的所述线路板位置设有接收声音信号的声孔,其特征在于:所述声孔周围所述线路板局部向下凹陷设有凹陷部,所述凹陷部内设有覆盖所述声孔的防护网。
2.如权利要求1所述的MEMS麦克风,其特征在于:所述线路板由线路板基板和金属层构成,所述金属层设置在所述封装结构外部所述线路板基板表面上。
3.如权利要求1所述的MEMS麦克风,其特征在于:所述线路板由线路板基板和金属层构成,所述金属层设置在所述封装结构内部所述线路板基板表面上。
4.如权利要求1-3任一权利要求所述的MEMS麦克风,其特征在于:所述凹陷部为局部去除所述金属层而形成的容纳槽。
5.如权利要求1-3任一权利要求所述的MEMS麦克风,其特征在于:所述凹陷部为局部去除金属层并且使线路板基板局部凹陷形成的容纳槽。
6.如权利要求1所述的MEMS麦克风,其特征在于:所述防护网为纺织网、金属网或打孔硅片中的一种。
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