[实用新型]基片加热炉有效
| 申请号： | 201320140023.3 | 申请日： | 2013-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN203238350U | 公开（公告）日： | 2013-10-16 |
| 发明（设计）人： | 吴向方;梁玉生;吴煦 | 申请（专利权）人： | 苏州圆芯光机电科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B35/00 | 分类号： | C30B35/00;C23C16/46;C23C14/00 |
| 代理公司： | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人： | 董建林 |
| 地址： | 215000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 加热炉 | ||
【权利要求书】：
1.一种基片加热炉，其包括圆筒形的炉体，所述炉体外壁设置有隔热层，其特征在于：所述炉体内设置与所述炉体同轴的环形电加热丝，及连接所述电加热丝的电极；所述电加热丝呈螺旋形设置在所述炉体内侧。
2.根据权利要求1所述的基片加热炉，其特征在于：所述炉体内呈螺旋形设置有多组所述电加热丝。
3.根据权利要求1所述的基片加热炉，其特征在于：所述炉体内设置有多组所述电加热丝，每组所述电加热丝均沿所述炉体内壁呈环形设置，且呈S形沿所述炉体轴线方向延伸。
4.根据权利要求1-3其中之一所述的基片加热炉，其特征在于：所述炉体架设于耐高温的底座上。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于苏州圆芯光机电科技有限公司，未经苏州圆芯光机电科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201320140023.3/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：联锁控制出风风量的纺丝用侧吹风装置
- 下一篇：电镀装置
