[实用新型]晶砣晶面定向装置有效
| 申请号： | 201320141802.5 | 申请日： | 2013-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN203171857U | 公开（公告）日： | 2013-09-04 |
| 发明（设计）人： | 于新现;李斗 | 申请（专利权）人： | 西安神光安瑞光电科技有限公司;西安神光皓瑞光电科技有限公司 |
| 主分类号： | B28D5/00 | 分类号： | B28D5/00;H01L21/68 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 周耀君 |
| 地址： | 710100 陕西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 晶砣晶面 定向 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种晶砣晶面定向装置，其特征在于，包括：
二维数显倾角仪，放置于晶砣晶面上；
X射线定向仪，放置于所述晶砣的上方。
2.根据权利要求1所述的晶砣晶面定向装置，其特征在于，还包括平面引出元件，所述平面引出元件设置于所述晶砣晶面上，所述平面引出元件上设置所述二维数显倾角仪。
3.根据权利要求2所述的晶砣晶面定向装置，其特征在于，所述平面引出元件的第一面设置在所述晶砣内，所述平面引出元件的第二面与所述二维数显倾角仪接触，所述第一面平行于所述第二面。
4.根据权利要求1所述的晶砣晶面定向装置，其特征在于，所述X射线定向仪位于所述晶砣的上方并与所述晶砣接触。
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