[实用新型]蚀刻握持夹具

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种玻璃边缘强化湿式蚀刻工艺所使用的握持夹具，但不限于此种用途。此种握持夹具可增进液体流场均匀度及效率，又不会碰触被蚀刻物边缘，使边缘蚀刻均匀度及良率大大提升，而且又能减少蚀刻后浸泡清洗时间，提升清洗效益又能避免酸液残留。

背景技术

集成电路或面板工艺中，以湿式蚀刻除去剩余光阻的传统夹具如图1所示，玻璃片或晶圆等工件104被夹持于夹具102时，至少有四个接触点，使蚀刻不完全，而有残留物留在边缘上，此缺点对面板最为不利。另外，因底部未完全开放，使蚀刻液的流场106不顺畅而有回流108，致使均匀度及酸液流场效率不佳而增加蚀刻时间。

授予Kim等人的美国专利第20040065413号提出一种防止玻璃底板破裂的夹具。具有上框、下框及侧框，停止器（stopper）防止玻璃底板自后部出来。固然可以防止玻璃底板破裂，但玻璃底板边缘仍与夹具接触，且下框使蚀刻液的流场不顺畅，是其缺点。授予Cho等人的美国专利第20060226093及20060226094号提出一种装载显示面板玻璃底板的玻璃夹具，亦有上、下板及侧板，其缺点亦同。

综上所述，本实用新型人有感上述缺失可改善，乃特潜心研究并配合学理的应用，终于提出一种设计合理且有效改善上述缺失的实用新型。

发明内容

本实用新型所要解决的技术问题就是提供一种蚀刻握持夹具，以增加蚀刻液的流场顺畅而增进均匀度及效率，减少蚀刻时间。

本实用新型另提供一种蚀刻握持夹具，使玻璃片或晶圆等工件的边缘不与夹具接触，以将边缘蚀刻干净。

为解决上述技术问题，本实用新型采用如下技术方案：包括：两个侧板，所述两个侧板分置左、右两侧；至少一个支持件，所述至少一个支持件连接于所述两侧板；多个夹板，所述多个夹板设置于所述两个侧板之间，所述夹板两侧各设有接触头，每一接触头设有至少一个第一通道；至少两个夹板滑棒，所述至少两个夹板滑棒设置于所述两个侧板之间，且穿过所述多个夹板；以及至少一个夹板压棒，设置于所述两个侧板的其中一个侧板上。

较佳地，所述第一通道呈上下贯穿、水平贯穿或斜向贯穿。

较佳地，所述夹板压棒的一端设有至少一个第二通道。

较佳地，所述第二通道呈上下贯穿、水平贯穿或斜向贯穿。

较佳地，远离所述夹板压棒的所述两个侧板的其中另一个侧板内侧设有至少一个抵触部，每一抵触部设有至少一个第三通道。

较佳地，所述第三通道呈上下贯穿、水平贯穿或斜向贯穿。

较佳地，所述夹板压棒具有螺帽及螺丝，所述螺丝螺接于所述其中一个侧板，所述螺帽螺接于所述螺丝上，所述螺帽一面设有三个凸部，该些凸部顶触于所述其中一个侧板外侧。

较佳地，所述夹板压棒具有一垫片，所述垫片位于所述螺丝与所述多个夹板之间。

较佳地，所述两个侧板各具有握持孔。

较佳地，所述两个侧板各具有侧孔。

较佳地，所述两个侧板各具有脚架。

较佳地，所述至少一个支持件呈棒状。

本实用新型具有以下有益的效果：

本实用新型以侧板、支持件、夹板、夹板滑棒及夹板压棒组成一蚀刻握持夹具，蚀刻液的流场可自下方向上平行通过玻璃片或晶圆等工件，不受阻碍，以增加蚀刻液的流场顺畅而增进均匀度及效率，减少蚀刻时间，且使玻璃片或晶圆等工件的边缘不与夹具接触，以将边缘蚀刻干净。

本实用新型夹板两侧各设有接触头，用以夹持玻璃片或晶圆等工件，且每一接触头设有第一通道，使得夹板与工件接触面积减少，且增加蚀刻液的流场顺畅，而增进均匀度及效率。

另，本实用新型夹板压棒的一端可设有第二通道，也可以增加蚀刻液的流场顺畅，而增进均匀度及效率。

另，本实用新型侧板内侧可设有抵触部，抵触部可设有第三通道，也可以增加蚀刻液的流场顺畅，而增进均匀度及效率。

为使能更进一步了解本实用新型的特征及技术内容，请参阅以下有关本实用新型的详细说明与附图，然而所附图式仅提供参考与说明，并非用来对本实用新型加以限制。

附图说明

图1为显示以湿蚀刻除去剩余光阻的传统夹具的示意图。

图2为本实用新型蚀刻握持夹具的立体图。

图3为本实用新型蚀刻握持夹具的前视图。

图4为本实用新型蚀刻握持夹具的俯视图。

图5为本实用新型蚀刻握持夹具的右侧视图。

图6为本实用新型蚀刻握持夹具的左侧视图。

图7为本实用新型夹板的立体图。