[实用新型]热电偶装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及半导体制造领域，尤其涉及一种热电偶装置。

背景技术

在半导体集成电路生产的过程中，很多步骤的工艺均需要严格控制设备机台反应腔室内的反应温度。若设备机台反应腔室内的反应温度与工艺规定的温度相差过大（不论是反应温度过高还是过低），均会对工艺产生极大的负面影响，使工艺不符合生产要求。

为了能够实时而又准确的检测到设备机台反应腔室内的反应温度，需要在设备机台反应腔室内设置热电偶，从而能够做到实时准确的检测出设备机台反应腔室内的反应温度。

请参考图1，现有技术中热电偶装置包括：热电偶11、定位基座21以及固定基座22；其中所述热电偶11为L型，所述热电偶11的柄部设有一信号线12，所述信号线12用于传递信号；所述热电偶11的柄部穿过所述固定基座22，接着所述固定基座22将所述热电偶11与所述定位基座21相固定。

当将现有的热电偶装置放置入设备机台反应腔室内，由于所述热电偶11的柄部直接穿过所述固定基座22，两者之间往往会留有一定间隙，设备机台反应腔室内伴随着工艺反应而形成的副产物经常会沉积在间隙中，例如在设备机台反应生成氮化硅薄膜时，其副产物之一氯化铵易沉积在所述热电偶11与所述固定基座22之间的间隙中，从而造成所述热电偶11不易从所述固定基座22拆卸下来进行清洗，不仅如此，严重时还会造成所述热电偶11在拆卸的过程中发生断裂，增加生产成本。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型的目的在于提供一种方便拆卸的热电偶装置。

为了实现上述目的，本实用新型提出一种热电偶装置，包括：热电偶、桶套、固定基座和定位基座，所述热电偶包括温度传感器和柄部，所述温度传感器与所述柄部固定连接，所述柄部伸入所述桶套内，所述桶套固定在所述固定基座内，所述固定基座将所述热电偶与所述定位基座固定在一起；所述桶套与所述固定基座螺纹连接。

进一步的，所述热电偶连有一根信号线。

进一步的，还包括O型橡胶圈，所述O型橡胶圈设置于所述桶套与所述固定基座连接的部分。

进一步的，所述O型橡胶圈为两根，分别设置在所述桶套的两端。

进一步的，所述桶套的材质为不锈钢。

进一步的，所述固定基座将所述热电偶通过螺丝或卡槽与所述定位基座固定在一起。

进一步的，所述固定基座与定位基座为一体成型。

进一步的，所述固定基座与定位基座的材质均为不锈钢。

进一步的，所述热电偶装置还包括一石英管，所述温度传感器伸入所述石英管内，所述石英管与所述定位基座固定在一起。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果主要体现在：将热电偶的柄部套入桶套内，所述桶套的外部设置有螺纹，所述桶套通过螺纹与固定基座固定连接，所述桶套起到遮挡作用，从而防止反应生成的副产物沉积在所述热电偶上，使热电偶容易拆卸。

附图说明

图1为现有技术中热电偶装置的结构示意图；

图2为本实用新型一实施例中热电偶装置的结构示意图；

图3为本实用新型一实施例中桶套与固定基座连接的局部放大图。

具体实施方式

以下结合附图和具体实施例对本实用新型提出的热电偶装置作进一步详细说明。根据下面说明和权利要求书，本实用新型的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。

请参考图2和图3，在本实施例中提出一种热电偶装置，包括：热电偶、桶套400、固定基座220和定位基座210。

所述热电偶包括温度传感器110和柄部120，所述温度传感器110与所述柄部120固定连接，所述柄部120伸入所述桶套400内。

所述桶套400固定在所述固定基座220内，所述固定基座220将所述热电偶与所述定位基座210固定在一起；

所述桶套400设有外螺纹410，所述固定基座220设有内螺纹（图未示），所述内螺纹的尺寸与所述桶套400设有外螺纹410的尺寸一致，从而保证所述桶套400可以通过外螺纹410与所述固定基座220连接，通过螺纹连接可以使所述桶套400与所述固定基座220相固定。

所述固定基座220将所述热电偶与所述定位基座210固定在一起。

其中，所述热电偶的柄部120连有一根信号线130，用于传递信号。