[实用新型]一种射频激光器预电离控制装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及激光器预电离控制技术，尤其涉及一种射频激光器预电离控制装置。 

背景技术

射频激励 激光器中，为了在较低工作电压下提高放电稳定性及其效率，通常采用射频预电离技术。在主电路放电开始之前，即在激光器处于待机状态时，用各种方法把适当数量（浓度）的电子预先引入放电管内产生预电离，这样主放电就容易实现均匀性和稳定性，从而激光器工作的可靠性大大提高。目前有两种方式，一种是采用单独的射频电路及独立的小电极，由射频电路产生一小功率射频信号激励小电极，使气体电离；另一种是采用和主放电是同一通路。预电离信号同控制激光器信号的PWM信号一样，也是一高低电平信号。目前都采用一个固定的频率和固定的小脉宽PWM信号做预电离信号，即激光器内的射频驱动电路产生一个固定的很小功率进入放电管。 

     预电离信号在一个周期内，若射频电场持续时间过小，则进入放电管的能量太小，不能发生足够次数的碰撞电离。同时，若射频电场持续时间过大，将有可能造成意料之外的激光输出，这也是要绝对避免的。现有的预电离技术，都由于固定的预电离信号而无法达到预电离的理想效果。

本实用新型是为了解决不同射频激励激光器预电离无法达到理想效果的问题，而提出的一种可自动调节入射功率进而保证激光预电离效果的预电离控制装置。

实用新型内容

为解决上述技术问题，本实用新型的目的在于提供一种可自动调节的射频激光器预电离控制装置。 

为实现上述目的，本实用新型之一种射频激光器预电离控制装置，包括控制器及其连接的射频驱动电路和用于功率信号采样的双向耦合器，且该双向耦合器的输出端连接激光管，所述激光管内设有电极板，其特征在于：所述双向耦合器的输出端还连接一信号反馈处理单元，所述信号反馈处理单元的输出端与所述控制器相连。

在上述方案的基础上优选，所述信号反馈处理单元包括信号处理器和与之相连的A/D转换电路，且该信号处理器与所述双向耦合器相连，所述A/D转换电路的输出端与所述控制器相连。

本实用新型与现有技术相比，其有益效果是：本实用新型通过信号反馈处理单元时刻检测激光管内的射频激励的反射功率，并通过控制器自动调整预电离信号的大小，从而保证激光管内预电离效果达到最佳。

附图说明

图1是本实用新型的一种射频激光器预电离控制装置的逻辑框图。 

具体实施方式

为详细说明本实用新型之技术内容、构造特征、所达成目的及功效，以下兹例举实施例并配合附图详予说明。 

请参阅图1，本实用新型提供一种射频激光器预电离控制装置，该射频激光器预电离控制装置，包括控制器10及与之连接的射频驱动电路20和用于功率信号采样的双向耦合器30，且该双向耦合器30的输出端连接激光管（未图示），所述激光管内设有电极板40，其中，该双向耦合器30的输出端还连接一信号反馈处理单元50，且所述信号反馈处理单元50的输出端与所述控制器10相连。

作为本实用新型的优选方案，其中，所述信号反馈处理单元50包括一信号处理器51和与之连接的A/D转换电路52，且所述信号处理器51的输入端与所述双向耦合器40的输出端相连，所述A/D转换电路52的输出端与所述控制器10相连。

工作时，启动射频激光器，控制器10产生一个预电离信号，射频驱动电路20接收预电离信号后产生激励信号经双向耦合器30进入到激光管（未图示），使激光管内的电极板40之间的气体产生电离；由于气体产生电离后，其阻抗发生变化，因此导致射频激励的反射功率也会有变化，为了保证预电离效果，在上述过程的同时，该双向耦合器30采集激光管的入射功率和反射功率大小，并将检测到的信号输送至信号处理器51，经其处理后由A/D转换电路52将模拟信号转换为数字信号，进入控制器10，控制器10根据入射信号和反射信号的大小，调整预电离信号，即当控制器10接收的反射功率相对于所述入射功率较大时，控制器10将相应调大预电离信号，继续进行预电离；反之亦然，即调整所述反射功率与预设功率保持在相对稳定值内，从而达到预电离的最佳效果。

综上所述，仅为本实用新型之较佳实施例，不以此限定本实用新型的保护范围，凡依本实用新型专利范围及说明书内容所作的等效变化与修饰，皆为本实用新型专利涵盖的范围之内。