[实用新型]一种易于固定和调整试样的扫描电镜样品台

说明书

技术领域

本实用新型涉及金属物理分析领域一种易于固定和调整试样的扫描电镜样品台。 

背景技术

扫描电镜是利用静止的或在样品表面做光栅扫描的一束精细聚焦的电子束，轰击样品表面产生各种信号，利用电磁透镜系统成像，对固体材料进行分析的仪器。样品台是扫描电镜的重要组成部分，是进行样品观察必需的承载与调节工具。通过它可实现样品在各个方向的运动，从而获得合适的样品观察位置。通常扫描电镜的样品台是一个圆形的平面基座，扫描电镜通过计算机控制系统对与圆形基座相连的机械部分进行控制，实现样品台在不同方向的移动和倾斜。但是常规的样品台在观察试样中存在以下一些问题： 

1、当试样尺寸较大且外形不规则时，通常需要一些辅助的材料对样品进行支撑，使样品能较平稳地放置于样品台上。这样放置样品在观察过程中，随着样品台移动，辅助支撑材料可能产生松动，从而导致样品移动，影响观察图像的质量，严重时可能会掉下样品台，损伤扫描电镜。

2、当大尺寸试样需要进行倾斜观察时，即使通过导电胶固定在样品台上，倾斜角度也不能太大，否则试样易从样品台滑落。 

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服现有技术缺陷，提供一种易于固定和调整试样的扫描电镜样品台。 

本实用新型的技术方案是这样实现的：一种易于固定和调整试样的扫描电镜样品台，包括基座，其在于，在基座周围安有可升降挡板。 

优选的，可升降挡板至少有二块，分别固定在基座周围。 

优选的，可升降挡板设有三块，呈环形分别固定在基座周围。 

优选的，可升降挡板底部通过螺丝与基座相连并各自实现升降。 

优选的，可升降挡板的升降范围为基座以上0～10mm。 

本实用新型通过分别调节各升降挡板的高度，可对不规则的试样进行支撑，在试样台移动和倾斜的过程中不会滑动，而且可以调出不规则试样的最佳观察角度，提高扫描电镜的观察质量。 

附图说明

图1是本实用新型结构俯视图。 

图中，1-基座；2-可升降挡板；3-螺丝。 

具体实施方式

下面结合附图作进一步描述： 

如图1所示，一种易于固定和调整试样的扫描电镜样品台，包括通过中心螺丝3与扫描电镜的机械部分相连的圆形基座1，其在于，在圆形基座1周围环形布置有三块可升降挡板2，可升降挡板2底部通过螺丝3分别与基座相连并可各自实现升降，根据实践经验，可升降挡板2的升降范围为基座以上0～10mm即可满足要求。

本实用新型主要是适用于针对大尺寸不规则试样设计，主要操作步骤如下： 

1、通过螺丝3将基座1中心与扫描电镜的机械部分相连；

2、将试样做完预处理后，放置样品台上，通过调节可升降挡板2底部的螺丝3来确定各个可升降挡板2的高度，使试样观察面处于水平位置；如需要对试样台进行倾斜观察，可用可升降挡板2侧面来支撑试样，通过调节其它二块可升降挡板2使试样观察面处于水平位置；

3、将试样放置好后，样品室抽真空处理，达到设备所需真空程度后，加电压进行试样观察。