[实用新型]一种分离机加膜过滤的硅片切割废砂浆在线回收设备

说明书

技术领域

本实用新型涉及机电一体化设备领域，特别涉及了一种分离机加膜过滤的硅片切割废砂浆在线回收设备。

背景技术

目前，为了保证硅片切割质量，切割工艺中使用的砂浆基本都是极少的重复使用，切割使用后的废弃砂浆直接作为工业废弃物堆积处理，或者委托专业处理厂对使用过的砂浆进行处理，无论以上那种方式，都会造成极大浪费，产生较大成本，因此，实现砂浆的回收再利用是硅片生产企业降低生产成本的有效途径，需要合理的设备，现有设备结构复杂，成本高。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了降低硅片切割工艺中砂浆的回收成本，特提供了一种分离机加膜过滤的硅片切割废砂浆在线回收设备。

本实用新型提供了一种分离机加膜过滤的硅片切割废砂浆在线回收设备，其特征在于：所述的分离机加膜过滤的硅片切割废砂浆在线回收设备，包括模块化单台分离机1，分离液罐体2，压滤机3，二次回收液罐4；

其中：模块化单台分离机1的出液口通过管道与分离液罐体2的进口连接，分离液罐体2的出口通过管道与压滤机3的进口连接，压滤机3的出口通过管道与二次回收液罐4连接。

所述的压滤机3内部带有膜过滤装置。

所述的模块化单台分离机1主体结构为卧式螺旋沉降离心机。

模块化单台分离机1所分离出来的固态物质与二次回收液罐4中的液体混合，形成再生砂浆，实现回收利用。

本实用新型的优点：

本实用新型所述的分离机加膜过滤的硅片切割废砂浆在线回收设备，用于分离和回收硅片切割工艺中所产生的废砂浆，同时亦适用于半导体芯片、水晶、钻石等行业的废液回收利用。分离效果好，小颗粒杂质去除率达95%以上。回收效率高，回收液的回收率达90%以上。有效地避免了浪费，降低了企业的生产成本。

附图说明

下面结合附图及实施方式对本实用新型作进一步详细的说明：

图1为分离机加膜过滤的硅片切割废砂浆在线回收设备原理结构示意图。

具体实施方式

实施例1

本实施例提供了一种分离机加膜过滤的硅片切割废砂浆在线回收设备，其特征在于：所述的分离机加膜过滤的硅片切割废砂浆在线回收设备，包括模块化单台分离机1，分离液罐体2，压滤机3，二次回收液罐4；

其中：模块化单台分离机1的出液口通过管道与分离液罐体2的进口连接，分离液罐体2的出口通过管道与压滤机3的进口连接，压滤机3的出口通过管道与二次回收液罐4连接。

所述的压滤机3内部带有膜过滤装置。

所述的模块化单台分离机1主体结构为卧式螺旋沉降离心机。

模块化单台分离机1所分离出来的固态物质与二次回收液罐4中的液体混合，形成再生砂浆，实现回收利用。

实施例2

本实施例提供了一种分离机加膜过滤的硅片切割废砂浆在线回收设备，其特征在于：所述的分离机加膜过滤的硅片切割废砂浆在线回收设备，包括模块化单台分离机1，分离液罐体2，压滤机3，二次回收液罐4；

其中：模块化单台分离机1的出液口通过管道与分离液罐体2的进口连接，分离液罐体2的出口通过管道与压滤机3的进口连接，压滤机3的出口通过管道与二次回收液罐4连接。

所述的压滤机3内部带有膜过滤装置。

模块化单台分离机1所分离出来的固态物质与二次回收液罐4中的液体混合，形成再生砂浆，实现回收利用。