[实用新型]一种用于碳纳米管生产的气体加热流量控制装置

权利要求书

1.一种用于碳纳米管生产的气体加热流量控制装置，包括保护气体管道和原料气体管道，在保护气体管道进气口一端设有稳压表、手动球阀和单向阀，在原料气体管道进气口一端设有稳压表、手动球阀和单向阀，其特征在于，保护气体管道上设有保护气体支管道，保护气体管道和保护气体支管道上均设有流量控制器；原料气体管道上设有原料气体支管道，原料气体管道和原料气体支管道上均设有流量控制器，原料气体支管道上设有单向阀；还包括余气排除管道，在余气排除管道上设有单向阀，余气排除管道与保护气体管道和保护气体支管道相连接，保护气体管道和保护气体支管道与原料气体支管道相连接。

2.根据权利要求1所述的用于碳纳米管生产的气体加热流量控制装置，其特征在于，所述余气排除管道上安装有稳压表、手动球阀和流量控制器。