[实用新型]温度传感器用保护管

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种温度传感器用保护管，特别是涉及一种能够避免异物混入或溶出到作为温度测量对象的气体或者液体中的、能够适合用于半导体、药品或者食品的制造工艺等中的温度测定的、由不锈钢构成的温度传感器用保护管。 

背景技术

在半导体、药品或者食品等的制造工艺中，必须正确地测定作为制品的原料的气体或液体的温度。为了达到该目的，通常是在气体或液体的输送管路、储藏容器的内部设置温度传感器，直接测定该气体或液体的温度。作为温度传感器，可采用能够将测定点的温度信息转换为电信号的热电偶、白金测温电阻器或者热敏电阻。而且，为了防止温度传感器与上述气体或液体进行反应而无法测定正确的温度、或者由温度传感器引起的杂质混入到气体或液体中，温度传感器以插入到被称作保护管的管内的状态使用。即，温度传感器用保护管是指覆盖温度传感器而具有防止温度传感器与气体或液体直接接触的功能的构件。 

从耐热性、耐腐蚀性、机械强度等方面考虑，构成温度传感器用保护管的构件适合采用公知的不锈钢（stainless steel）。作为由不锈钢构成的温度传感器用保护管的构造，例如在专利文献1及专利文献2中公开有用于测量汽车废气的温度的温度传感器用保护管的构造。根据上述构造，概略地讲，温度传感器用保护管由管、接头以及从接头看位于与管相反一侧的管筒构成。管是顶端部密封的不锈钢制的管，在其顶端部中插入有温 度传感器，该管具有如下功能：在防止温度传感器和废气直接接触的同时，将温度传感器固定在废气配管内欲测定温度的位置。接头与管无间隙地接合，该接头具有如下功能：通过在设置于废气配管的螺纹孔中插入有管的状态下将接头螺纹固定在螺孔中而将温度传感器用保护管以无间隙地能够装卸的方式安装。以能够装卸的方式安装温度传感器用保护管的目的在于，在温度传感器或温度传感器用保护管发生了故障的情况下，能够检测或者更换。管筒是用于收纳温度传感器的线缆的部分，因此管筒的内径构成为大于管的内径。 

此外，在专利文献3中公开有用于测定合金铁用电炉内的熔融金属的温度的温度传感器用保护管的构造。在此所公开的温度传感器用保护管中，不利用螺纹固定来进行接头向电炉壁面的安装，而采用使用螺栓和螺母来紧固被接头和电炉壁面夹着的衬垫这一构造。 

专利文献1：日本特开2004－157052号公报 

专利文献2：日本特开2005－283425号公报 

专利文献3：日本特开平9－189616号公报 

本发明人在开发使用于半导体的制造工艺的气化器的过程中，将以往技术的温度传感器保护管应用于气化器的温度传感器。气化器是指将使用于半导体的制造工艺的液体成膜材料加热、气化并将其供给至半导体制造装置的装置。在气化器的内部设有用于储藏液体成膜材料的容器。被温度传感器保护管覆盖的温度传感器从设于容器的孔朝向内部插入，以温度传感器保护管的顶端部位于液体成膜材料的液面下方的方式固定。通过采用这样的结构，能够利用温度传感器始终监视储藏在容器内部的液体成膜材料的温度。 

图2表示以往技术的温度传感器用保护管的构造。该温度传 感器用保护管通过一根管、一个异径接头和一个接头以配置在同一个中心轴线上的方式组合而构成。管、异径接头及接头均由不锈钢构成。管的顶端部无间隙地密封，管的基端部和异径接头的小径部无间隙地接合。此外，管贯穿接头的内径，管的外周面在稍稍远离与异径接头接合的接合位置的位置处与接头的内周面中的、接近异径接头一侧的内周面接合。在接头的端部中的、与异径接头相反一侧的端部设有被称作加强肋的圆周状的突起，与设置在储藏容器中的成对构件的未图示的加强肋一同夹着衬垫地使其塑性变形，实现以无间隙且能够装卸的方式接合。在管的顶端部收纳有温度传感器，温度传感器的引线穿过管内到达异径接头，在此捆扎并被外套材料覆盖，构成线缆。 

在图2所示的以往技术的温度传感器用保护管中，管与接头、管与异径接头分别利用使用银钎料进行的钎焊来接合。与焊接相比，钎焊作业较为容易，由于熔融的钎料进入到欲接合的构件相互间的间隙中进行接合，因此具有能够无间隙且可靠地进行接合这一优点。此外，银钎料的熔点也取决于材质，约为600℃～900℃，与软钎焊相比其熔点较高。因此，在气化器的加热温度为100℃以下的情况下，钎料从接合的部分混入或者溶出到液体成膜原料中的可能性极小。