[实用新型]一种法布里珀罗腔

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种法布里珀罗腔，具体涉及一种采用高精度PZT压电陶瓷进行驱动调节和以殷钢材料作为支撑调节机构的结构。

背景技术

法布里珀罗腔被广泛应用在通信、激光和光谱学领域，它主要用于精确测量和控制光的频率和波长。激光中应用法布里珀罗腔来实现激光频率的滤波、倍增和锁定，要求法布里珀罗腔具有很好的稳定度，即：两片反射镜间的距离要保持恒定。市场现有的法布里珀罗腔采用一个PZT压电陶瓷，或者分辨率不够高，或者调谐范围过小，难以满足在各种环境下稳定性要求。

实用新型内容

有鉴于此，为了解决上述问题，本实用新型公开了法布里珀罗腔，其特征在于：所述结构包括两个PZT压电陶瓷、平面镜或凹面镜对、机械支撑调节机构，所述机械支撑调节机构用来固定平面镜或凹面镜对和PZT压电陶瓷；

进一步，所述PZT压电陶瓷通过接收外部信号来驱动调节平面镜或凹面镜对的间距，使平面镜或凹面镜对的间距保持恒定。

进一步，所述第一个PZT压电陶瓷调谐精度为pm级。所述第二个PZT压电陶瓷调谐精度为nm级。

进一步，所述机械支撑调节机构包括固定座、镜座、调节镜筒、转接环、锁紧环和固定筒。

优选为，所述固定座用来固定PZT压电陶瓷，与固定筒连接；镜座用来固定凹面镜，连接于PZT压电陶瓷上；调节镜筒用来固定PZT压电陶瓷，转接环套在调节镜筒外面，用来调节轴向位置，使两平面镜或凹面镜的光轴重合，锁紧环用来连接转接环和固定筒，法布里珀罗腔通过固定筒固定于激光器上。

本实用新型的有益效果是：

1.采用两个不同分辨率的PZT压电陶瓷对平面镜或凹面镜对间距进行精确控制调节，可以实现保证较大行程和较高精度，在各种环境下的激光频率滤波、重复频率倍增和锁定。

2.采用殷钢制作机械支撑调节机构。殷钢的低热膨胀系数，使其能降低因温度变化而导致的镜间距变化，确保镜间距变化处于PZT压电陶瓷的行程之内，从而保证对镜间距的可控性。

附图说明

为了使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本实用新形作进一步的详细描述：

图1示出了本实用新型的结构示意图。

附图中标号说明：1-固定座，2-第一个PZT压电陶瓷，3-镜座，4-第二个PZT压电陶瓷，5-调节镜筒，6-转接环，7-锁紧环，8-固定筒。

具体实施方式

以下将参照附图，对本实用新型的优选实施例进行详细的描述。应当理解，优选实施例仅为了说明本实用新型，而不是为了限制本实用新型的保护范围。

如图1所示，本实用新型的法布里珀罗腔，包括PZT压电陶瓷和机械支撑调节机构。PZT压电陶瓷通过接收外界信号来驱动调节法布里珀罗腔内的平面镜或凹面镜对的间距，使其在任何条件下保持不变。机械支撑调节机构用来固定平面镜或凹面镜对和PZT压电陶瓷，并起调节的导向作用，PZT压电陶瓷(锆钛酸铅)：其中P是铅元素Pb的缩写，Z是锆元素Zr的缩写，T是钛元素Ti的缩写。

本实例中包含两个PZT压电陶瓷，分别为行程2um的第一个PZT压电陶瓷2和行程8um的第二个PZT压电陶瓷4。

机械支撑调节机构的材料为殷钢，该材料与石英玻璃相近的低热膨胀系数，使其能降低因温度变化而导致的凹面镜间距变化过大，确保凹面镜间距变化处于PZT压电陶瓷的行程之内，从而保证对平面镜或凹面镜对间距的可控性。

本实施例中，机械支撑调节机构包括固定座、镜座、调节镜筒、转接环、锁紧环和固定筒。固定座1用来固定行程2μm的PZT压电陶瓷2，与固定筒8相连，镜座3连接于第一个PZT压电陶瓷2上，用来固定平面镜或凹面镜，调节镜筒5用来固定行程8μm的第二个PZT压电陶瓷4，转接环6套在调节镜筒5外面，用来调节轴向位置，使两个平面镜或凹面镜的光轴重合，锁紧环7用来连接转接环6和固定筒8，固定筒8将法布里珀罗腔固定于激光器上。

本实用新型稳定性好，抗外界环境影响性能优良，能够精确稳定地实现激光高重复频率的锁定。

以上所述仅为本实用新型的优选并不用于限制本实用新型，任何腔镜类型、镀膜波长范围和反射率、PZT行程大小的改变，都在保护范围之内。本领域的技术人员可以对本实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。