[实用新型]偏振元件单元以及偏振光照射装置

权利要求书

1.一种偏振元件单元，其特征在于，具有：

线栅偏振元件；

第一框架，保持线栅偏振元件；以及

第二框架，保持第一框架，

在第二框架上设置有调整机构，该调整机构通过使第一框架的姿势发生变化来调整线栅偏振元件的朝向。

2.如权利要求1所述的偏振元件单元，其特征在于，

上述第一框架具有侧壁面，该侧壁面形成比上述线栅偏振元件大的空间，在此侧壁面与上述线栅偏振元件之间存在由弹性体构成的缓冲件，通过此缓冲件，上述第一框架中的上述线栅偏振元件的位置得以保持。

3.如权利要求1所述的偏振元件单元，其特征在于，

上述线栅偏振元件是具有角部的形状，上述第一框架具有侧壁面，该侧壁面具有与此角部形成同一角度的角部，通过使上述线栅偏振元件的角部与上述第一框架的角部抵接来保持上述线栅偏振元件相对于上述第一框架的朝向。

4.如权利要求1所述的偏振元件单元，其特征在于，

上述第二框架保持多个第一框架，各第一框架只保持一个上述线栅偏振元件，对于各第一框架设置上述调整机构，上述调整机构能够独立地调整各线栅偏振元件的朝向。

5.如权利要求1所述的偏振元件单元，其特征在于，

上述调整机构在上述第一框架抵接于上述第二框架的状态下使上述第一框架的姿势发生变化。

6.如权利要求1所述的偏振元件单元，其特征在于，

上述调整机构具有：轴销，相对于上述线栅偏振元件的栅格延伸的面而垂直；以及调整销，推压上述第一框架，以便上述第一框架以轴销为中心旋转。

7.一种偏振光照射装置，其特征在于，具有：

权利要求1中所述的偏振元件单元；以及

光源，通过偏振元件单元所具有的线栅偏振元件向工件照射偏振光。