[实用新型]碳／碳复合材料坩埚窄流感应耦合CVD 致密化工装及化学气相沉积炉有效
| 申请号： | 201320168179.2 | 申请日： | 2013-04-07 |
| 公开（公告）号： | CN203200177U | 公开（公告）日： | 2013-09-18 |
| 发明（设计）人： | 刘汝萃;刘汝强 | 申请（专利权）人： | 山东国晶新材料有限公司 |
| 主分类号： | C04B35/83 | 分类号： | C04B35/83;C23C16/44;C23C16/26 |
| 代理公司： | 济南金迪知识产权代理有限公司 37219 | 代理人： | 朱家富 |
| 地址： | 251200 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 复合材料 坩埚 流感 耦合 cvd 致密 化工 化学 沉积 | ||
1.一种碳/碳复合材料坩埚窄流感应耦合CVD致密化工装，其特征在于包括感应耦合工装和气流工装，所述感应耦合工装与碳纤维坩埚制品相适配，以使碳纤维坩埚制品套合在所述的感应耦合工装上以形成感应电磁耦合；所述气流工装与碳纤维坩埚制品相适配，以罩在碳纤维坩埚制品外，在碳纤维坩埚制品与气流工装之间形成气体窄缝流动通道，以限制气体在碳纤维坩埚制品表面交换层区流动，使流经碳纤维坩埚制品表面的气体原位热解沉积形成碳基体。
2.如权利要求1所述的致密化工装，其特征在于所述气体窄缝流动通道宽度为5～60mm。
3.如权利要求1所述的致密化工装，其特征在于所述气体窄缝流动通道宽度为10～50mm。
4.如权利要求1所述的致密化工装，其特征在于所述碳纤维坩埚制品与感应耦合工装的耦合贴合面积为5～100%。
5.一种碳/碳复合材料坩埚窄流感应耦合CVD致密化化学气相沉积炉，包括真空感应化学气相沉积炉的反应室，其特征在于反应室中设有与碳纤维坩埚制品相适配的感应耦合工装和气流工装，碳纤维坩埚制品套合在感应耦合工装上以形成感应电磁耦合，气流工装罩在碳纤维坩埚制品外，在碳纤维坩埚制品与气流工装之间形成气体窄缝流动通道，以限制气体在碳纤维坩埚制品表面交换层区流动。
6.如权利要求1所述的致密化化学气相沉积炉，其特征在于所述真空感应化学气相沉积炉选用中频感应真空化学气相沉积炉。
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