[实用新型]一种用于长玻璃柱体阳极键合的自动化键合设备

权利要求书

1.一种用于长玻璃柱体阳极键合的自动化键合设备，用于键合元件硅片与长玻璃柱体的键合，该设备包括机壳、控制系统与键合系统，其特征在于，所述键合系统包括至少一个键合炉、与所述键合炉对应设置的键合模块、带动所述键合炉与所述键合模块移动调整其水平位置的驱动机构、识别键合元件所在位置的检测机构、将键合元件逐个输送至所述键合炉上进行键合处理的上料机构；

所述键合炉一侧设置有放置键合成品的料盒，以及将硅片与长玻璃柱体依次均匀排布的分片格，所述分片格位于所述检测机构的下方，所述料盒与所述分片格随所述键合炉同步移动；

所述键合模块包括下压气缸、水平设置于所述下压气缸上的绝缘杆、位于所述绝缘杆前端的托架；所述托架上设置有用于压紧固定键合元件的压头，所述托架的至少一侧设置有负电极弹片，所述绝缘杆下端设置有正电极弹片，所述正电极弹片与硅片接触，所述负电极弹片与长玻璃柱体接触，所述负电极弹片高于所述正电极弹片设置。

2.如权利要求1所述的用于长玻璃柱体阳极键合的自动化键合设备，其特征在于，所述键合炉包括键合炉体，所述键合炉体上设置有用于吸附固定硅片的吸附孔。

3.如权利要求1所述的用于长玻璃柱体阳极键合的自动化键合设备，其特征在于，所述键合炉上还设置有挡块。

4.如权利要求1所述的用于长玻璃柱体阳极键合的自动化键合设备，其特征在于，所述负电极弹片的前端向内弯曲，且其端部设置有弧形卡口。

5.如权利要求1所述的用于长玻璃柱体阳极键合的自动化键合设备，其特征在于，所述键合炉为至少两个。

6.如权利要求1所述的用于长玻璃柱体阳极键合的自动化键合设备，其特征在于，所述上料机构包括吸附手、带动所述吸附手运行的X轴滑动平台、Y轴滑动平台以及Z轴滑动平台，所述吸附手前端设置有吸头。

7.如权利要求1所述的用于长玻璃柱体阳极键合的自动化键合设备，其特征在于，所述检测机构为显微镜。

8.如权利要求1所述的用于长玻璃柱体阳极键合的自动化键合设备，其特征在于，所述驱动机构包括X轴电动滑台与Y轴电动滑台，所述驱动机构与所述键合炉间还设置有隔热组件。