[实用新型]正交修正设备及系统

说明书

技术领域

本申请讨论微机电系统（MEMS），更具体地，本申请讨论用于MEMS器件的正交消除设备。 

背景技术

诸如MEMS陀螺仪之类的MEMS器件可以包括悬挂的检测质量（proof mass），检测质量受驱动激发，以共振频率进行振荡。振荡的检测质量可以包括悬挂的检测质量部分，在受到转动运动时，这部分偏转。科里奥利效应（Coriolis effects）可以用来解释检测质量部分的偏转。与悬挂的检测质量部分相关的电容式传感器可以提供传感器信号，该传感器信号指示转动运动和所导致的科里奥利力，科里奥利力能影响悬挂的检测质量部分。 

实用新型内容

除其他以外，本申请讨论了来自微机电系统（MEMS）器件（例如，MEMS陀螺仪）的传感信息的正交消除设备。在某些示例中，正交修正设备可包括：驱动电荷至电压（C2V）转换器，其被配置为提供MEMS陀螺仪的检测质量的驱动信息；传感C2V转换器，其被配置为提供所述检测质量的传感信息；相移模块，其被配置为提供所述驱动信息的相移信息；驱动解调器，其被配置为接收所述驱动信息和所述相移信息，并且提供经解调的驱动信息；以及传感解调器，其被配置为接收所述传感信息和所述相移信息，并且提供经解调的传感信息，其中所述正交修正设备被配置为使用经解调的驱动信息和经解调的传感信息提供经修正的传感信息。 

本申请进一步公开了一种正交修正系统，包括：MEMS器件，包括检测质量；控制电路，其被配置为提供所述检测质量的传感信息，所述控制电路包括： 驱动电荷至电压（C2V）转换器，其被配置为耦合至所述检测质量，并且提供所述检测质量的驱动信息；传感C2V转换器，其被配置为接收来自所述检测质量的传感信号，并且提供所述检测质量的传感信息；相移模块，其被配置为使用所述驱动信息来提供相移信息；驱动解调器，其被配置为接收所述相移信息和所述驱动信息，以提供经解调的驱动信号；传感解调器，其被配置为接收所述相移信息和所述传感信息，以提供经解调的传感信号；以及求和节点，其被配置为消除所述传感信息的正交误差，并且使用经解调的驱动信号和经解调的传感信号之和来提供经修正的传感信号。 

本节意在提供本专利申请的主题的概述。其并非意在提供本申请的排他性或穷尽性的解释。本文包括了详细的描述，以提供关于本专利申请的进一步信息。 

附图说明

在附图中（这些附图不一定是按照比例绘制的），相似的数字可以描述不同的视图中的类似组件。具有不同字母后缀的相似数字可以表示类似组件的不同实例。附图通过举例说明而非限制的方式概括地示出了本文中讨论的各个实施例。 

图1示出用于消除MEMS器件的正交偏移的现有电路100。 

图2概括地示出用于消除在MEMS陀螺仪传感器信号上出现的正交误差的示例性传感器电路。 

图3概括地示出用于MEMS器件的示例正交消除电路。 

具体实施方式

诸如MEMS陀螺仪之类的MEMS器件可以包括悬挂的检测质量（proof mass），检测质量受驱动激发，以共振频率进行振荡。振荡的检测质量可以包括悬挂的检测质量部分，在受到转动运动时，这部分偏转。科里奥利效应（Coriolis effects）可以用来解释检测质量部分的偏转。与悬挂的检测质量部分相关的电 容式传感器可以提供传感器信号，该传感器信号指示转动运动和所导致的科里奥利力，科里奥利力能影响悬挂的检测质量部分。在某些示例中，检测质量常常可以是半导体材料的层或层系列。在某些示例中，可以使用集成电路技术来制造检测质量，并且可使用各种层创建和刻蚀技术来制造各种机械特征。大体而言，检测质量可以包括不规则性，尽管较小，但却在用于制造MEMS器件的制造方法的正常变动内。 

图1示出用于消除MEMS器件的正交偏移或正交误差的现有电路100。所述电路可包括：第一输入端，其用于耦合到MEMS器件（例如，MEMS陀螺仪101）的驱动传感电极（gdp、gdn）；第二输入端，其用于耦合到MEMS陀螺仪101的传感器电极（gcxp、gcxn）；驱动电荷至电压（C2V）转换器102；传感C2V转换器103；模拟修正放大器104；90度相移模块105；解调器106；以及模拟至数字转换器（ADC）107。