[实用新型]MEMS麦克风有效
| 申请号： | 201320173551.9 | 申请日： | 2013-04-09 |
| 公开（公告）号： | CN203225887U | 公开（公告）日： | 2013-10-02 |
| 发明（设计）人： | 王显彬;王喆;宋青林;庞胜利;刘诗婧 | 申请（专利权）人： | 歌尔声学股份有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 261031 山东省潍*** | 国省代码： | 山东;37 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | mems 麦克风 | ||
1.一种MEMS麦克风，包括由线路板和外壳包围形成的封装结构，所述封装结构内部设有MEMS声电芯片，所述线路板上设有接收声音信号的声孔，其特征在于：
所述封装结构内部所述线路板表面设有能够覆盖所述声孔的保护件；
所述MEMS声电芯片设置在所述保护件上并与所述保护件包围形成第一声腔；
所述保护件上设有两个以上的连通孔；
所述连通孔孔径小于所述声孔孔径；
所述连通孔将所述声孔与所述第一声腔连通。
2. 如权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于：
所述MEMS声电芯片由一个基底和设置在基底上的电容器构成，所述电容器包括一个刚性穿孔背电极和一个弹性振膜，所述振膜端面与基底端相连，所述背电极远离所述基底端，所述MEMS声电芯片通过所述基底设置在所述保护件上。
3. 如权利要求1或2所述的MEMS麦克风，其特征在于：
所述封装结构内部所述线路板声孔周围局部向下凹陷形成凹陷部，所述保护件设置在所述凹陷部内。
4. 如权利要求3所述的MEMS麦克风，其特征在于：
所述保护件与所述线路板之间通过固定胶固定连接，与所述保护件相对的所述线路板安装位置周边局部向下凹陷设有溶胶槽。
5. 如权利要求4所述的MEMS麦克风，其特征在于：所述溶胶槽的形状为环形。
6.如权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于：所述保护件为盖板。
7.如权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于：所述连通孔的孔径尺寸在0.01-0.1mm之间。
8. 如权利要求8所述的MEMS麦克风，其特征在于：所述连通孔的孔径尺寸在0.03-0.05mm之间。
9.如权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于：所述线路板上的声孔的孔径尺寸在0.2-0.3mm之间。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于歌尔声学股份有限公司，未经歌尔声学股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201320173551.9/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种保持架整形模具
- 下一篇：一种用于渐进成形的自加热工具头
