[实用新型]一种切割研磨废水处理装置

说明书

技术领域

    本实用新型涉及水处理领域，特别涉及一种切割研磨废水处理装置。 

背景技术

在电子制程相关产业，例如IC封装产业的制程，包括晶圆切割（Wafer Saw）及晶圆研磨（Wafer Back Grinding）这些制程，均会使用超纯水洗净，因此产生了大量的切割研磨废水。 

在这些电子相关产业中，晶片切割研磨废水因为含有极细微的粉末颗粒，在处理上并不容易，同时废水处理费也相当惊人，回收率也不高。目前，也有文献报道采用超滤膜分离技术处理切割研磨废水，但是上述工艺中采用的膜分离过滤为中空纤维膜分离或卷式膜分离，上述两种膜分离都普遍存在着浓差极化和膜污染现象，进而影响过滤速度和过滤效果，并且具有清洗困难，通量难以恢复等缺点。 

圆型平板膜组件作为新一代的膜分离过滤组件，与卷式膜和中空纤维膜相比，具有下述优点：膜片互锁构造，膜片不泄漏；膜片间隙大，不会堵塞，容易清洗；圆型构造，可手动或自动旋转；不需要前处理；可以正冲及反洗；可正压操作或负压操作；可采用UF、NF或RO膜；可以直立或横卧操作。总之，圆型平板膜组件克服了传统卷式过滤膜及中空纤维膜，容易堵塞损坏的缺点，使用膜过滤的操作成本大幅的降低。 

发明内容

针对上述问题，本实用新型的目的在于基于圆型平板膜分离技术，提供一种过滤效果好、成本低、不易堵塞、易于清洗的切割研磨废水处理装置。 

为达到上述目的，本实用新型所提出的技术方案为：一种切割研磨废水处理装置，其特征在于：包括调节池、圆型平板膜分离装置、反渗透膜分离装置、污泥浓缩装置、污泥脱水装置，所述的圆型平板膜分离装置包括一产水口和一污泥排放口，所述的调节池、圆型平板膜分离装置依次连接，所述的反渗透膜分离装置与圆型平板膜分离装置产水口相连，所述的污泥浓缩装置、污泥脱水装置依次与圆型平板膜分离装置的浓水排放口相连。 

进一步，所述的反渗透膜分离装置的浓缩液出口通过回流管道与圆型平板膜分离装置相连。 

进一步，所述的圆型平板膜分离装置的过滤孔径为0.03um。 

采用上述技术方案，本实用新型所述的切割研磨废水处理装置，用于切割研磨废水处理所具有的优点为：运行成本低、处理效果佳、污泥少、占地面积小、处理工艺短、膜性能优异等。 

附图说明

图1为本实用新型所述的切割研磨废水处理装置结构示意图。 

其中：101.调节池、102.圆型平板膜分离装置、103.反渗透膜分离装置、104.产水罐、105.污泥浓缩装置、106.污泥脱水装置、107.回流管道。 

具体实施方式

下面结合附图和具体实施方式，对本实用新型做进一步说明。 

如图1所示，一种切割研磨废水处理装置，包括调节池101、圆型平板膜分离装置102、反渗透膜分离装置103、污泥浓缩装置105、污泥脱水装置106，所述的圆型平板膜分离装置102包括一产水口和一污泥排放口，所述的调节池101、圆型平板膜分离装置102依次连接，反渗透膜分离装置103与圆型平板膜分离装置102产水口相连，所述的污泥浓缩装置105、污泥脱水装置106依次与圆型平板膜分离装置102的浓水排放口相连，反渗透膜分离装置103的浓缩液出口通过回流管道107与圆型平板膜分离装置102相连。 

优选的，所述的圆型平板膜分离装置的过滤孔径为0.03um。 

具体使用时，切割研磨废水在调节池101收集后，进入圆型平板膜分离装置102处理，圆型平板膜分离装置102产水进入反渗透膜分离装置103进一步处理，反渗透膜分离装置103透析水进入产水罐104中进行回用，反渗透浓水经回流管道107回流至圆型平板膜分离装置102循环处理，此外圆型平板膜分离装置102中产生的污泥进入污泥浓缩装置105进一步浓缩后经污泥脱水装置106脱水后外运。 

本实用新型所述的切割研磨废水处理装置，所具有的优点为： 

1)  运行成本低

无需加任何药品，也无需沉淀，可直接膜过滤；每吨水节约药品费1-5元；

无二次污染，不需二次污染治理费用（如LED切割液中的砷，原本是颗粒状，但因中空纤维膜的堵塞后采用酸碱药洗，生产溶解性砷，每吨废水的处理费用需要几十元）；

无砂滤/碳滤/中空纤维膜过滤，也无需错流过滤，每吨废水可节约1-2元；

圆型平板膜分离装置过滤后的水回收率≥99%；

圆型平板膜分离装置过滤电耗≤0.1kWh/m³，吨水过滤成本约为0.1元；