[实用新型]一种高精度的气悬浮无摩擦气缸的检验装置

权利要求书

1.一种高精度的气悬浮无摩擦气缸的检验装置，其特征在于：包括机架、垫块、气浮垫和非接触角度编码器，所述非接触角度编码器包括码盘、读数头和读数头座，所述读数头安装在读数头座上，所述读数头指向所述码盘的指示刻度，待检验气悬浮无摩擦气缸的无杆腔侧竖直固定在机架上，所述垫块固定在无摩擦气缸活塞杆的末端，所述角度感应组件的码盘安装在垫块上表面，所述气浮垫安装在升降机构上且与所述垫块同心，所述气浮垫位于所述码盘上且两者之间气浮式连接，所述升降机构安装在机架上，所述升降机构上设有气浮垫供气口，所述机架上设有无摩擦气缸的进气孔。

2.如权利要求1所述的高精度的气悬浮无摩擦气缸的检验装置，其特征在于：所述机架包括底座和两个支架，所述升降机构包括移动横梁、滚珠丝杠、丝杠螺母座、直线导轨和直线导轨座，所述两个支架竖直固定在底座上，所述滚珠丝杠两端通过轴承座固定在其中一个支架上，所述直线导轨通过固定座安装在另一个支架上，所述移动横梁一端与滚珠丝杠螺母座连接，所述丝杠螺母座套装在所述滚珠丝杠上，所述移动横梁的另一端与所述直线导轨座连接，所述直线导轨座套装在所述直线导轨上，电机通过联轴器与滚珠丝杆连接，所述气浮垫和读数头座安装在所述移动横梁上；所述移动横梁上开有气浮垫供气口，所述底座上开有无摩擦气缸的进气孔。

3.如权利要求1或2所述的高精度的气悬浮无摩擦气缸的检验装置，其特征在于：所述气浮垫为圆气浮垫。