[实用新型]一种扩散炉及其扩散炉用尾气管

说明书

技术领域

本实用新型涉及晶体硅太阳电池生产技术领域，尤其涉及一种扩散炉及其扩散炉用尾气管。

背景技术

太阳能是各种可再生能源中最重要的基本能源。太阳能一般是指太阳光的辐射能量，在现代一般用作发电。自地球形成生物就主要以太阳提供的热和光生存，而自古人类也懂得以阳光晒干物件，并作为保存食物的方法，如制盐和晒咸鱼等。但在化石燃料减少下，才有意把太阳能进一步发展。太阳能的利用有被动式利用（光热转换）和光电转换两种方式。其中，光电转换以太阳能电池片为主。

其中，晶体太阳能电池具有转换效率较高，生产技术成熟的优点占据绝大部分的光伏市场份额。目前，制造太阳电池的流程为：表面清洗及表面织构化、扩散、清洗刻蚀去边、镀减反射膜、丝网印刷电极、烧结形成欧姆接触、测试。这种商业化太阳能电池制造技术相对简单、成本较低，适合工业化、自动化生产，因而得到了广泛应用。

在制备晶体硅太阳能电池过程中，扩散制造PN结是核心技术，而扩散制结的关键是提高方块电阻的均匀性。

因此，如何提供一种扩散炉用尾气管，以提高方块电阻的均匀性，是目前本领域技术人员亟待解决的技术问题。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型的目的在于提供一种扩散炉用尾气管，以提高方块电阻的均匀性。本实用新型的另一目的在于提供一种扩散炉。

为了达到上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种扩散炉用尾气管，包括排气孔，所述排气孔的个数不少于3个。

优选的，上述排气孔的通透面积由小到大依次排列。

优选的，上述排气孔的个数为3-10个。

优选的，上述排气孔的通透面积的总和面积不大于所述扩散炉用尾气管的横截面积。

优选的，上述排气孔为圆孔。

优选的，上述排气孔的直径为1mm-5mm。

优选的，上述扩散炉用尾气管为石英材料尾气管。

优选的，上述排气孔均匀分布。

本实用新型还提供一种扩散炉，包括炉体、炉口、炉尾和尾气管，所述尾气管为如上述任意一项所述的扩散炉用尾气管。

优选的，上述扩散炉用尾气管的排气孔的通透面积自所述炉口到所述炉尾由小到大依次排列。

本实用新型提供的扩散炉用尾气管，包括排气孔，所述排气孔的个数不少于3个。使用时，将本实用新型提供的扩散炉用尾气管安放在扩散炉上，将待扩散硅片安放在扩散炉中，位于本实用新型提供的扩散炉用尾气管的一侧，扩散源随气体从扩散炉的进气孔进入到扩散炉中，从本实用新型提供的扩散炉用尾气管的排气孔中排出，由于排气孔为不少于3个，这样就可以有效降低扩散炉内炉口炉尾的方块电阻差异，提高方块电阻均匀性，提高电池电性能。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型实施例提供的扩散炉的结构示意图。

上图1中：

炉口1、待扩散硅片2、炉尾3、进气孔4、扩散炉用尾气管5、排气孔6。

具体实施方式

本实用新型实施例提供了一种扩散炉用尾气管，以提高方块电阻的均匀性。本实用新型还提供一种扩散炉。

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参考图1，图1为本实用新型实施例提供的扩散炉的结构示意图。其中，箭头指示的是气体流动方向。

本实用新型实施例提供的扩散炉用尾气管5，包括排气孔6，排气孔6的个数不少于3个。使用时，将本实用新型提供的扩散炉用尾气管5安放在扩散炉上，将待扩散硅片3安放在扩散炉中，位于本实用新型提供的扩散炉用尾气管5的一侧，扩散源随气体从扩散炉的进气孔4进入到扩散炉中，从本实用新型实施例提供的扩散炉用尾气管5的排气孔6中排出，由于排气孔6为不少于3个，这样就可以有效降低扩散炉内炉口1和炉尾3的方块电阻差异，提高方块电阻均匀性，提高电池电性能。