[实用新型]一种无阀压电微量泵

权利要求书

1.一种无阀压电微量泵，包括振动板、泵体（8）和通过螺栓（6）连接在泵体（8）上的上盖板（1），所述上盖板（1）和泵体（8）之间构成空腔，其特征在于：所述振动板设置在上盖板（1）和泵体（8）之间，所述空腔由振动板分隔为进液负压腔和出液压力腔，振动板由振动膜片（2）和环形压电陶瓷片（3）同轴粘接构成，振动膜片（2）中未与环形压电陶瓷片（3）、上盖板（1）及泵体（8）接触的中部圆形区域和外围环形区域均布有锥形孔，锥形孔的大端朝向进液负压腔，小端朝向出液压力腔，所述振动膜片（2）和上盖板（1）之间、振动膜片（2）和泵体（8）之间均设置有密封圈。

2.根据权利要求1所述的无阀压电微量泵，其特征在于，所述的压电陶瓷片（3）连接有压电陶瓷驱动电源（9）。

3.根据权利要求1或2所述的无阀压电微量泵，其特征在于，所述的泵体（8）上设有驱动压电陶瓷片（3）需要的电源线孔，且电源线孔出口处设有防止液体流出的密封胶堵（7）。

4.根据权利要求1所述的无阀压电微量泵，其特征在于，所述的上盖板（1）与一进液管道相连。

5.根据权利要求1所述的无阀压电微量泵，其特征在于，所述的泵体（8）与一出液管道相连。