[实用新型]用于在基板上印刷的系统有效
申请号: | 201320185517.3 | 申请日: | 2013-04-12 |
公开(公告)号: | CN203210829U | 公开(公告)日: | 2013-09-25 |
发明(设计)人: | G·切莱雷 | 申请(专利权)人: | 应用材料意大利有限公司 |
主分类号: | B41F15/12 | 分类号: | B41F15/12;B41F15/14;H01L31/18 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 陆嘉;张欣 |
地址: | 意大利*** | 国省代码: | 意大利;IT |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 基板上 印刷 系统 | ||
1.一种用于在基板(250)上印刷的系统,所述系统包括:
基板装载台(170),用于将所述基板装载到基板运输输送带上,
多个印刷台(190、220、290、330),用于在被装载到所述基板运输输送带上的所述基板上印刷,
多个加热台,用于加热所述印刷基板,
基板分拣台(390),用于分拣经处理的基板,
其中将所述基板运输输送带设置成并列处理设置,以将所述基板运输到所述多个印刷台(190、220、290、330)、所述多个加热台、和所述基板分拣台(390)的其中至少一个,
其中至少一个所述印刷台(190、220、290、330)包括搁置在一个支撑结构(183)上的两个印刷设备(192)。
2.如权利要求1所述的系统,其中每一个所述印刷台(190、220、290、330)包括搁置在一个支撑结构(183)上的两个印刷设备(192)。
3.如权利要求1或2所述的系统,其中所述两个印刷设备(192)相对于所述印刷台(190、220、290、330)的中线而彼此相对。
4.如权利要求1或2所述的系统,其中所述支撑结构(183)包括彼此刚性连接的支撑支杆(184)、横向支撑元件(185)和一个或多个支撑板(186)。
5.如权利要求1或2所述的系统,所述系统包括系统控制器(101),所述系统控制器(101)经设置用于以同步方式操作至少所述两个印刷设备(192)。
6.如权利要求1或2所述的系统,其中每个印刷设备(192)包括一个致动器组件(130)、一个印刷腔室(102)、印刷掩模(102B)、两个引出输送带(112)和至少一个可能的检查组件(200),其中,基板支撑件(131)耦接到所述一个致动器组件(130),所述两个引出输送带(112)设置成并列处理设置。
7.如权利要求1或2所述的系统,其中至少一个所述印刷台(190、220、290、330)包括基板翻转装置(182)。
8.如权利要求1或2所述的系统,其中所述装载台(170)包括两个取出装置(176),所述两个取出装置(176)经设置以从基板容器取出基板(250)且朝着两个传入输送带(111)运输所述取出基板(250),所述两个传入输送带(111)用于运输基板(250)到印刷台(190、220、290、330)的所述两个印刷设备(192)。
9.如权利要求8所述的系统,其中所述装载台(170)包括两个容器移动装置(172),每个容器移动装置(172)经设置用于垂直移动基板容器,提供在所述两个传入输送带(111)中的每个传入输送带(111)处且与缓冲举升装置(180)连接的可能的基板缓冲容器(179)。
10.如权利要求1或2所述的系统,其中至少一个所述加热台包括:干燥台(210、270、310),具有处理区(202);热系统(201),经设置以输送能量到所述处理区(202)内;和两个干燥输送带(211),经设置成并列处理设置。
11.如权利要求10所述的系统,其中所述热系统(201)包括辐射加热组件(204)和可能的对流加热组件(203),其中所述辐射加热组件(204)可包括一个或多个灯具(204A),所述一个或多个灯具(204A)经设置以在一个或多个波长下输送辐射到所述基板(250),且所述可能的对流加热组件(203)可包括流体传输装置(229)、充气部(245)、气体加热组件(240)、和视需要的热交换装置(230)。
12.如权利要求1或2所述的系统,所述系统包括烧制炉台(350),所述烧制炉台(350)经设置用于蚀刻在经处理的基板(250)上印刷的所述材料,所述烧制炉台(350)包括经设置成并列处理设置的两个烧制输送带(311)。
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