[实用新型]正交消除装置及MEMS系统

权利要求书

1.一种正交消除装置，其特征在于，包括： 

驱动电荷放大器，其被配置成耦合到微机电系统MEMS设备的检测质量块，并且提供振荡运动信息； 

第一传感电荷放大器，其被配置成耦合到所述检测质量块，并且提供所述MEMS设备的第一移动的第一传感信息； 

第一可编程放大器，其被配置成接收所述振荡运动信息，并且提供经放大的振荡运动信息； 

第一加法器，其被配置成使用所述第一传感信息和所述经放大的振荡运动信息来消除所述第一传感信息的正交误差，以提供经正交校正的第一传感信息； 

移相器，其被配置成接收所述振荡运动信息，并且提供载波信息；以及 

第一乘法器，其被配置成使用所述经正交校正的第一传感信息和所述载波信息来提供经解调的第一传感信息。 

2.根据权利要求1所述的装置，包括第一基带缓冲器，所述第一基带缓冲器被配置成接收所述经解调的第一传感信息，并且提供经缓冲的第一传感信息。 

3.根据权利要求1所述的装置，其中，所述第一加法器和所述第一乘法器包含在第一开关矩阵中。 

4.根据权利要求1所述的装置，其中，所述驱动电荷放大器和所述第一传感电荷放大器包括延迟匹配的放大器。 

5.根据权利要求1所述的装置，其中，所述移相器可编程为在第一状态下提供90度的相移，并且在第二校准状态下提供零度的相移。 

6.根据权利要求1所述的装置，包括： 

第二传感电荷放大器，其被配置成耦合到所述检测质量块，并且提供所述MEMS设备的第二移动的第二传感信息； 

第二可编程放大器，其被配置成接收所述振荡运动信息，并且提供经放大的振荡运动信息； 

第二加法器，其被配置成使用所述第二传感信息和所述经放大的振荡运动信息来消除所述第二传感信息的正交误差，以提供经正交校正的第二传感信息；以及 

第二乘法器，其被配置成使用所述经正交校正的第二传感信息和所述载波信息来提供经解调的第二传感信息。 

7.根据权利要求6所述的装置，包括第二基带缓冲器，所述第二基带缓冲器被配置成接收所述经解调的第二传感信息，并且提供经缓冲的第二传感信息。 

8.根据权利要求6所述的装置，其中，所述第二加法器和所述第二乘法器包含在第二开关矩阵中。 

9.根据权利要求6所述的装置，其中，所述驱动电荷放大器和所述第二传感电荷放大器包括延迟匹配的放大器。 

10.一种MEMS系统，其特征在于，包括： 

MEMS陀螺仪，其具有检测质量块； 

正交消除电路，其被配置成提供所述MEMS陀螺仪的移动信息，所述正交消除包括： 

驱动电荷放大器，其被配置成耦合到所述检测质量块，并且提供振荡运动信息； 

第一传感电荷放大器，其被配置成耦合到所述检测质量块，并且提供所述MEMS设备的第一移动的第一传感信息； 

第一可编程放大器，其被配置成接收所述振荡运动信息，并且提供经放大的振荡运动信息； 

第一加法器，其被配置成使用所述第一传感信息和所述经放大的振荡运动信息来消除所述第一传感信息的正交误差，以提供经正交校正的第一传感信息； 

移相器，其被配置成接收所述振荡运动信息，并且提供载波信息；以及 

第一乘法器，其被配置成使用所述经正交校正的第一传感信息和所述 载波信息来提供经解调的第一传感信息。 

11.根据权利要求10所述的系统，包括第一基带缓冲器，所述第一基带缓冲器被配置成接收所述经解调的第一传感信息，并且提供经缓冲的第一传感信息，其中，所述移动信息包括所述经缓冲的第一传感信息。