[实用新型]四氟乙烯硅片腐蚀装置有效
| 申请号： | 201320191654.8 | 申请日： | 2013-04-03 |
| 公开（公告）号： | CN203203859U | 公开（公告）日： | 2013-09-18 |
| 发明（设计）人： | 穆玥;魏文昌;翁博丰;刘松林;李咏梅 | 申请（专利权）人： | 陕西天宏硅材料有限责任公司 |
| 主分类号： | G01N1/32 | 分类号： | G01N1/32 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 712000 陕西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 乙烯 硅片 腐蚀 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种四氟乙烯硅片腐蚀装置，它包括：二个腐蚀槽(1)和一个样片篮(2)组成，其特征在于：腐蚀槽(1)为长方体结构，底面和四个侧面密封，上面敞开，样片篮(2)也为长方体结构，样片篮(2)的样品放置位置设为多个隔断结构，每个隔断空间可以让一对样片竖直的放入，样片篮(2)内的隔断板为实板，底面和四个侧面均为成孔板，孔密度10000个/m2，其中一个侧面设计成提手，其提手高度为另一个侧面高度的两倍。
2.如权利要求1所述的四氟乙烯硅片腐蚀装置，其特征在于：样片篮(2)内的隔断板为四氟乙烯材质实板，样片篮(2)的底面和四个侧面均为四氟乙烯材质孔板。
3.如权利要求1所述的四氟乙烯硅片腐蚀装置，其特征在于：样片篮(2)的高度低于腐蚀槽的高度。
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