[实用新型]一种新型清洗辊

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种清洗辊，尤其涉及一种清洗效果好的新型清洗辊。

背景技术

一般清洗辊由芯轴和包覆于芯轴上的海绵套组成，清洗辊在进行清洗时，由于海绵套与晶圆的接触压力在各接触点虽然一致，然而晶圆转动的每点切线速度却不尽相同，由于晶圆表面的切线速度为转速×旋转半径，因此在晶圆边缘的切线速度最高，在晶圆中心处的切线速度趋近于零，因而常规的清洗辊在中心处的清洁能力较差。

另一方面，常规的清洗辊在使用一段时间后，其海绵套会因为挤压而变形，因而形成海绵表面凹陷，造成清洁时在凹陷接触部位的接触压力降低，清洗不均匀，严重影响清洁效果。

实用新型内容

本实用新型的目的是克服现有技术存在的缺陷，提供一种清洗效果好的新型清洗辊。

实现本实用新型目的的技术方案是：一种新型清洗辊，包括芯轴和海绵套，所述芯轴上设置有镍层，所述海绵套的海绵气孔直径不大于2mm，所述海绵套设置于所述芯轴外表面上。

进一步的，所述镍层为3～5μm。

进一步的，所述芯轴一端设置有固定端，另一端设置有电源连接端。

进一步的，所述固定端直径小于所述芯轴直径，所述固定端与芯轴相连处设置有卡槽，所述电源连接端为锥形状。

进一步的，所述卡槽内设置有卡簧。

本实用新型具有积极的效果：海绵气孔直径不大于2mm，弹性好，抗压力效果好，可有效防止海绵套因受压力不均匀造成海绵套表面凹陷的缺陷，提高质量，延长产品使用寿命。

附图说明

为了使本实用新型的内容更容易被清楚地理解，下面根据具体实施例并结合附图，对本实用新型作进一步详细的说明，其中：

图1为本实用新型的结构示意图。

其中：1、固定端，2、芯轴，3、海绵套，4、电源连接端。

具体实施方式

实施例1

如图1所示，本实用新型具有一种新型清洗辊，包括芯轴2和海绵套3，芯轴2上设置有3μm的镍层，海绵套3的海绵气孔直径为2mm，海绵套3设置于芯轴2外表面上。

上述实施例1中，海绵气孔直径为2mm，弹性好，抗压力效果好，可有效防止海绵套3因受压力不均匀造成海绵套3表面凹陷的缺陷，提高质量，延长产品使用寿命。

实施例2

其余与实施例1相同，不同之处在于，镍层为μm，芯轴2一端设置有固定端1，另一端设置有锥形状的电源连接端4，固定端1直径小于芯轴2直径，固定端1与芯轴2相连处设置有卡槽，卡槽内设置有卡簧。

上述实施例2中，固定端1与芯轴2相连处设置有卡槽并在卡槽内设置卡簧，可防止芯轴2上的轴承发生跑位的现象，另外设置有锥形状的电源连接端4用来接触电源，更加安全可靠。

以上所述的具体实施例，对本实用新型的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，所应理解的是，以上所述仅为本实用新型的具体实施例而已，并不用于限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。