[实用新型]一种硫化镉化学水浴镀膜反应器

权利要求书

1.一种硫化镉化学水浴镀膜反应器，所述硫化镉化学水浴镀膜反应器为用于平板CIGS太阳能电池的硫化镉化学水浴镀膜反应器，其特征在于，所述硫化镉化学水浴镀膜反应器包括：硫化镉反应器（4）、化学水浴槽（2）、热水循环系统及反应镀液配制装置（8）；其中，所述硫化镉反应器（4）放置在化学水浴槽（2）中；所述化学水浴槽（2）与热水循环系统相连接；进一步，所述硫化镉反应器（4）包括：注液管（41）、排液管（42）、密封件（43）及两片基片（44）；其中，基片（44）的一面镀有铜铟镓硒薄膜，所述两片基片（44）的镀有铜铟镓硒薄膜的面相对放置；所述两片基片（44）的两端分别设置有密封（43）件；所述注液管（41）和排液管（42）分别通过密封件（43）伸入至两片基片（44）中；所述反应镀液配制装置（8）与注液管（41）相连接。

2.如权利要求1所述的硫化镉化学水浴镀膜反应器，其特征在于，所述两片基片（44）之间的距离为1~5mm。

3.如权利要求1所述的硫化镉化学水浴镀膜反应器，其特征在于，所述化学水浴槽（2）内盛放有水浴热水（3），所述水浴热水（3）的温度在65~85℃±1℃之间。

4.如权利要求1所述的硫化镉化学水浴镀膜反应器，其特征在于，所述热水循环系统包括热水循环注水管道（7）、热水循环加热装置（6）和热水循环回水管道（5），水浴热水从所述热水循环加热装置（6）通过所述热水循环注水管道（7）流入化学水浴槽（2）内，通过所述热水循环回水管道（5）流回所述热水循环加热装置（6）。

5.如权利要求1所述的硫化镉化学水浴镀膜反应器，其特征在于，所述密封件（43）上设置有注液孔和排液孔，所述注液管（41）和排液管（42）分别通过注液孔和排液孔插进所述密封件（43）伸入至两片基片（44）中。

6.如权利要求1所述的硫化镉化学水浴镀膜反应器，其特征在于，还包括真空注排液装置（1），所述真空注排液装置（1）与所述排液管（42）相连接。

7.如权利要求1所述的硫化镉化学水浴镀膜反应器，其特征在于，还包括两片固定板（46），所述两片固定板（46）分别设置在所述两片基片（44）的外侧。