[实用新型]一种真空镀膜设备用真空缓冲室有效
| 申请号： | 201320199063.5 | 申请日： | 2013-04-19 |
| 公开（公告）号： | CN203513791U | 公开（公告）日： | 2014-04-02 |
| 发明（设计）人： | 薛辉;昌江 | 申请（专利权）人： | 芜湖真空科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C16/44 |
| 代理公司： | 芜湖安汇知识产权代理有限公司 34107 | 代理人： | 马荣 |
| 地址： | 241009 安徽省芜湖市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 真空镀膜 备用 真空 缓冲 | ||
【权利要求书】：
1.一种真空镀膜设备用真空缓冲室，所述的真空缓冲室包括真空缓冲室本体（1）、门（3），以及安装在门（3）上分子泵（4），其特征在于：所述的真空缓冲室还包括位于真空缓冲室本体（1）内部的气体分割阀（2），所述的气体分割阀（2）由若干块镜面板组成，并通过螺栓安装在真空缓冲室本体（1）的内部。
2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜设备用真空缓冲室，其特征在于：所述的气体分割阀（2）的连接部位为腰形孔，通过螺栓与腰形孔的安装位置调节气体分割阀的宽度。
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