[实用新型]一种高效激发剪切波谐振的薄膜体声波谐振器

权利要求书

1.一种高效激发剪切波谐振的薄膜体声波谐振器，包括基片（101）、声反射层（102）、压电层（103）以及输入电极对（104）和输出电极对（105），其特征在于，所述的输入电极对（104）由设置在压电层（103）上下两表面的两个相同形状且相互连通的输入上电极（106）和输入下电极（107）组成，输出电极对（105）由设置在压电层（103）上下两表面的两个相同形状且相互连通的输出上电极（108）和输出下电极（109）组成。

2.根据权利要求1所述的一种高效激发剪切波谐振的薄膜体声波谐振器，其特征在于，输入下电极（107）的横向长度（110）与压电层（103）厚度的比例以及输出下电极（109）的横向长度（111）与压电层（103）厚度的比例都介于50至150之间。

3.根据权利要求1所述的一种高效激发剪切波谐振的薄膜体声波谐振器，其特征在于，输入下电极（107）的横向长度（110）与横向电极间隔距离（112）的比例以及输出下电极（109）的横向长度（111）与横向电极间隔距离（112）的比例都介于20至100之间。

4.根据权利要求1所述的一种高效激发剪切波谐振的薄膜体声波谐振器，其特征在于，输入下电极（107）距压电层外侧边界的距离（113）以及输出下电极（109）距压电层外侧边界的距离（114）都大于压电层（103）厚度的10倍。

5.根据权利要求1所述的一种高效激发剪切波谐振的薄膜体声波谐振器，其特征在于，输入电极对（104）和输出电极对（105）中上下两电极之间设置有通孔（115），其截面积小于输入下电极（107）和输出下电极（109）面积的十分之一，其中心距电极侧边的距离（116）为压电层（103）厚度的10倍至50倍。