[实用新型]一种磁导轨机构

说明书

技术领域

本实用新型属于真空镀膜设备技术领域，更具体地说，是涉及一种真空镀膜设备领域的磁导轨结构。 

背景技术

现有技术中，磁导轨机构主要是通过单排的永磁体来控制台车，这样的单排永磁体磁导轨方式虽然在安装拆卸上简单方便，但是其主要缺陷是缺乏稳定性，尤其是不能确保工作台车在不同温度条件下稳定工作，从而存在安全隐患。 

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是：提供一种能够确保工作台车在不同温度条件下都能稳定工作，且永磁体安装拆卸简单方便的磁导轨机构。 

要解决以上所述的技术问题，本实用新型采取的技术方案为： 

本实用新型为一种磁导轨机构，包括磁导轨本体，磁导轨本体与工作台车配合工作，所述的磁导轨本体上设置三块安装基板，三块安装基板的截面呈“n”型结构，安装基板的左安装基板内壁和右安装基板内壁分别设置多排导轨永磁体Ⅰ和多排导轨永磁体Ⅱ，所述的工作台车上设置多排台车永磁体，磁导轨与工作台车连接时，安装台车永磁体的台车上端部设置为嵌装在左安装基板内壁和右安装基板内壁之间的结构。 

优选地，所述的多排导轨永磁体Ⅰ与多排导轨永磁体Ⅱ磁极相反，所述的台车永磁体靠近导轨永磁体Ⅰ的一端与导轨永磁体Ⅰ的磁极相反，台车永磁体靠近导轨永磁体Ⅱ的一端与导轨永磁体Ⅱ的磁极相反，安装基板还包括上安装基板，三块安装基板固定在磁导轨本体的开槽部。 

优选地，所述的多排导轨永磁体Ⅰ与多排导轨永磁体Ⅱ分别嵌装在左安装基板内壁和右安装基板内壁上，所述的多排导轨永磁体Ⅰ沿左安装基板内壁平行布置，多排导轨永磁体Ⅱ沿右安装基板内壁平行布置。 

优选地，所述的多排台车永磁体嵌装在台车上端部，多排台车永磁体为平行布置的结构。 

优选地，所述的导轨永磁体Ⅰ设置为上下平行布置的两排，导轨永磁体Ⅱ设置为上下平行布置的两排，所述的台车永磁体设置为上下平行布置的两排。 

采用本实用新型的技术方案，能得到以下的有益效果： 

本实用新型所述的磁导轨机构，与现有技术比较，解决了磁导轨机构工作性能不稳定的问题。本实用新型所述的磁导轨机构，通过安装在磁导轨本体上的导轨永磁体Ⅰ和导轨永磁体Ⅱ与工作台车上的台车永磁体的配合，能够确保工作台车在不同温度条件下都能稳定工作，且永磁体安装拆卸简单方便。 

附图说明

下面对本说明书各附图所表达的内容及图中的标记作出简要的说明： 

图1为本实用新型所述的磁导轨机构与工作台车配合工作时的结构示意图； 

图2为本实用新型所述的磁导轨机构与工作台车配合工作时的剖视结构示意图； 

图3为本实用新型所述的工作台车的结构示意图； 

附图中标记为：1、工作台车；2、磁导轨本体；3、安装基板；4、左安装基板；5、右安装基板；6、导轨永磁体Ⅰ；7、导轨永磁体Ⅱ；8、限位板；10、台车永磁体；12、台车上端部；13、上安装基板；14、开槽部。 

具体实施方式

下面对照附图，通过对实施例的描述，对本实用新型的具体实施方式如所涉及的各构件的形状、构造、各部分之间的相互位置及连接关系、各部分的作用及工作原理等作进一步的详细说明： 

如附图1—附图3所示，本实用新型为一种磁导轨机构，包括磁导轨本体2，磁导轨本体2与工作台车1配合，所述的磁导轨本体2上设置三块安装基板3，三块安装基板3的截面呈“n”型结构，安装基板3的左安装基板4内壁和右安装基板5内壁分别设置多排导轨永磁体Ⅰ6和多排导轨永磁体Ⅱ7，所述的工作台车1上设置多排台车永磁体10，磁导轨与工作台车1连接时，安装台车永磁体10的台车上端部12设置为嵌装在左安装基板4内壁和右安装基板5内壁之间的结构。 

优选地，所述的多排导轨永磁体Ⅰ6与多排导轨永磁体Ⅱ7磁极相反，所述的台车永磁体10靠近导轨永磁体Ⅰ6的一端与导轨永磁体Ⅰ6的磁极相反，台车永磁体10靠近导轨永磁体Ⅱ7的一端与导轨永磁体Ⅱ7的磁极相反，安装基板3还包括上安装基板13，三块安装基板3固定在磁导轨本体的开槽部14。 

优选地，所述的多排导轨永磁体Ⅰ6与多排导轨永磁体Ⅱ7分别嵌装在左安装基板4内壁和右安装基板5内壁上，所述的多排导轨永磁体Ⅰ6沿左安装基 板4内壁平行布置，多排导轨永磁体Ⅱ7沿右安装基板5内壁平行布置。 

优选地，所述的多排台车永磁体10嵌装在台车上端部12，多排台车永磁体10为平行布置的结构。