[实用新型]一种柔性扩散炉

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种太阳能电池制造技术领域，尤其涉及一种柔性扩散炉。

背景技术

目前太阳能电池的制造包含有多个工序，如硅片清洗、制绒等等，在上述的工序中都需要将硅片进行扩散。目前业内在生产中都是通过人工辅助实现石英舟入炉和硅片扩散，无法实现全自动生产。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种柔性扩散炉，结构简单、操作方便、效率高。

为了实现上述目的，本实用新型采用如下的技术方案：

一种柔性扩散炉，包括有净化台、排毒柜、炉体柜、气源柜，所述的净化台与排毒柜连接，排毒柜与炉体柜连接，炉体柜与气源柜连接。

所述的净化台左侧设有控制台，上位机控制分上、中、下三个独立控制面板，每台上位机旁边有急停和上停按钮，每层控制对应层的推舟、炉温和气路部分。

所述的净化台由净化用风机、高效过滤器、净压箱组成。

所述的排毒柜内设有对应相应的炉管，每一层由炉门、炉门驱动机构、小废气室和废液盒组成。

所述的炉体柜由炉体、加热控制系统、水冷循环系统、风冷循环系统和排风接口组成。

所述的气源柜由电气控制、气路、减压装置和尾气排放装置。

本实用新型的有益效果：本实用具有结构简单、操作方便、扩散效率高等优点。

附图说明

图1为本实用新型的示意图；

其中：1-净化台；2-排毒柜；3-炉体柜；4-气源柜；5-控制台；6-控制面板；7-急停按钮；8-推舟。

具体实施方式

下面，结合图1对本实用新型做进一步说明。

如图1所示一种柔性扩散炉，包括有净化台(1)、排毒柜(2)、炉体柜(3)、气源柜(4)，所述的净化台(1)与排毒柜(2)连接，排毒柜(2)与炉体柜(3)连接，炉体柜(3)与气源柜(4)连接，所述的净化台(1)左侧设有控制台(5)，上位机控制分上、中、下三个独立控制面板，每台上位机旁边有急停和上停按钮，每层控制对应层的推舟(8)、炉温和气路部分，所述的净化台(1)由净化用风机、高效过滤器、净压箱组成，所述的排毒柜(2)内设有对应相应的炉管，每一层由炉门、炉门驱动机构、小废气室和废液盒组成，所述的炉体柜(3)由炉体、加热控制系统、水冷循环系统、风冷循环系统和排风接口组成，所述的气源柜(4)由电气控制、气路、减压装置和尾气排放装置。

本实用新型的有益效果：本实用具有结构简单、操作方便、扩散效率高等优点。

以上实施例仅用以说明本实用新型而并非限制本实用新型所描述的技术方案；因此，尽管本说明书参照上述的各个实施例对本实用新型已进行了详细的说明，但是，本领域的普通技术人员应当理解，仍然可以对本实用新型进行修改或等同替换；而一切不脱离本实用新型的精神和范围的技术方案及其改进，均应涵盖在本实用新型的权利要求范围中。