[实用新型]一种电解液真空沸腾电沉积印制电路板装置有效
| 申请号： | 201320208035.5 | 申请日： | 2013-04-23 |
| 公开（公告）号： | CN203187763U | 公开（公告）日： | 2013-09-11 |
| 发明（设计）人： | 明平美;商静瑜;吕文星;王俊涛;郝巧玲;包晓慧;苏阳阳 | 申请（专利权）人： | 河南理工大学 |
| 主分类号： | C25D7/00 | 分类号： | C25D7/00;C25D19/00;C25D21/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 454003 河南*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 电解液 真空 沸腾 沉积 印制 电路板 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种电解液真空沸腾电沉积印制电路板装置，包含电沉积槽系统、工作液温控系统、工作液循环过滤系统、低压调节系统、电沉积电源19，其特征在于：还包含阴极区温控系统，所述阴极区温控系统包含电热网13、旋转杆14、温控单元18和旋转驱动单元20。
2.根据权利要求1所述的电解液真空沸腾电沉积印制电路板装置，其特征在于：所述电热网13为两个，分别水平正对置于印制电路板17上下方且相距1～4mm。
3.根据权利要求2所述的电解液真空沸腾电沉积印制电路板装置，其特征在于：所述电热网13为平面状，面积是印制电路板17的1.5倍以上，网孔为六边形，外表面为电绝缘、耐腐蚀材料。
4.根据权利要求3所述的电解液真空沸腾电沉积印制电路板装置，其特征在于：所述电热网13在旋转驱动单元20的驱动下能绕旋转杆14作±30°往复摆动。
5.根据权利要求4所述的电解液真空沸腾电沉积印制电路板装置，其特征在于：所述电热网13的一边框与旋转杆14顶部垂直固定联接。
6.根据权利要求5所述的电解液真空沸腾电沉积印制电路板装置，其特征在于：所述旋转杆14底部与置于电沉积槽1底部外侧的旋转驱动单元20可拆联接。
7.根据权利要求1所述的电解液真空沸腾电沉积印制电路板装置，其特征在于：所述温控单元18的两个热电偶28分别埋置于两个电热网13内部。
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