[实用新型]铝合金/铬硅夹心肖特基二极管有效
申请号: | 201320216403.0 | 申请日: | 2013-04-24 |
公开(公告)号: | CN203300653U | 公开(公告)日: | 2013-11-20 |
发明(设计)人: | 包兴坤 | 申请(专利权)人: | 苏州硅智源微电子有限公司 |
主分类号: | H01L29/872 | 分类号: | H01L29/872 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 215122 江苏省苏州市工业*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 铝合金 夹心 肖特基 二极管 | ||
1.一种铝合金/铬硅夹心肖特基二极管,其特征是:该二极管在金属层和半导体之间的接口上有一个整流结,其中该改进的二极管包括形成于预混层的一个层,该层至少由三种元素组成,包括插在金属层和半导体之间的铬、硅和碳,形成了整流结。
2.根据权利要求1所述的铝合金/铬硅夹心肖特基二极管,其特征是:其中半导体有一个衬底和一个表面,该表面有第一个含有杂质浓度的区域,第二个区域伴随着第一个区域而形成,该区域是拥有第二个杂质浓度的区域,该表面被绝缘层覆盖,第一个孔穿过该绝缘层毗连的第一个区域,第二个孔穿过绝缘层毗连的第二个区域,第一个导体穿过第一个孔与第一个区域相连,第二个导体穿过第二个孔与第二个区域相连,其中该层形成于预混层,该层至少由三种元素组成,包括插在金属层和半导体之间的铬、硅和碳。
3.根据权利要求2所述的铝合金/铬硅夹心肖特基二极管,其特征是:其中的衬底是由硅构成的,该衬底是由p型杂质惨杂的;第一个区域是由n型杂质惨杂的,第二个区域也是由n型杂质惨杂的,但第二个区域的惨杂浓度比第一个区域的惨杂浓度高;其中第一个导体是由铝构成的,该导体至少由一个元素构成,该元素是铝、铜和硅中的一种;隔热层由二氧化硅构成,其中预混合层插在第二个导体和第二个区域之间。
4.根据权利要求1所述的铝合金/铬硅夹心肖特基二极管,其特征是:其中预混合层包含的硅来自源以外的半导体。
5.根据权利要求1所述的铝合金/铬硅夹心肖特基二极管,其特征是:一个该肖特基二极管包括:一个杂质惨杂的硅衬底,该衬底有一个被氧化的表面和一个形成在氧化物上的接触孔,该接触孔暴露在硅衬底下表面的一个区域;多种元素的一个层包括硅、碳和铬结合到硅衬底底下被暴露的表面区域,来提供一个肖特基阻挡层,该层大体上在硅衬底底下被暴露的表面区域的上方;一个金属层电耦合到多元素肖特基阻挡层。
6.根据权利要求5所述的铝合金/铬硅夹心肖特基二极管,其特征是:其中多元素的肖特基阻挡层包括来自源以外的硅衬底。
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