[实用新型]靶面自动清洁装置有效
| 申请号： | 201320218018.X | 申请日： | 2013-04-26 |
| 公开（公告）号： | CN203333748U | 公开（公告）日： | 2013-12-11 |
| 发明（设计）人： | 陈彩刚;李洪波;刘一春 | 申请（专利权）人： | 武汉经开能源科技发展有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 武汉开元知识产权代理有限公司 42104 | 代理人： | 俞鸿 |
| 地址： | 430000 湖北省武*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 自动 清洁 装置 | ||
【权利要求书】：
1.靶面自动清洁装置，包括真空室，其特征在于：位于靶材两侧的传动轴和支撑轴穿过真空室并与真空室转动密封；支撑座套设在支撑轴上，并与传动轴丝杠传动连接，且支撑座位于真空室内；清洗装置与支撑座连接，且位于支撑座和靶材之间；驱动装置的输出端与传动轴连接，且位于真空室外。
2.如权利要求1所述的靶面自动清洁装置，其特征在于：所述传动轴和支撑轴之间的距离大于靶材的宽度。
3.如权利要求1所述的靶面自动清洁装置，其特征在于：所述支撑座上设有弹性件，支撑座经弹性件与清洗装置连接。
4.如权利要求1所述的靶面自动清洁装置，其特征在于：所述清洗装置由夹持部和可拆卸的清洗部组成，所述夹持部与支撑座连接。
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