[实用新型]六氟化硫和四氟化碳分离提纯系统

权利要求书

1.六氟化硫和四氟化碳分离提纯系统，其特征在于：包括混合气体回收管路，混合气体回收管路分别连接有循环净化管路、六氟化硫提纯管路和四氟化碳提纯管路。

2.根据权利要求1所述的六氟化硫和四氟化碳分离提纯系统，其特征在于：所述混合气体回收管路包括依次通过第一高压管（1）连接的回收口自封接头（2）、第一电磁阀（V2），风冷机（3）、分子筛（4）、第一手动常开阀（C1）、第一压缩机（5）、风冷机（3）旁路、第一单向阀（6）、第一冷热交换器（7）、第二电磁阀（V9）、第三电磁阀（V8）、第二手动常开阀（C2）和六氟化硫提纯罐（8）；第一冷热交换器（7）通过第四电磁阀（D1）连接有第一制冷机（9）；第一高压管（1）在第一电磁阀（V2）进出口两侧连接有真空压缩机（10），真空压缩机（10）的进口端和出口端分别设有第五电磁阀（V3）和第六电磁阀（V4）；第一高压管（1）在回收口自封接头（2）处设有第一压力传感器（P7）、在第一电磁阀（V2）进口侧设有第一压力表（11）、在分子筛（4）的进口侧设有第二压力传感器（P1）、在第一单向阀（6）和第一冷热交换器（7）之间设有第一压力控制开关（YL1）。

3.根据权利要求2所述的六氟化硫和四氟化碳分离提纯系统，其特征在于：所述循环净化管路包括伸入到六氟化硫提纯罐（8）内底部的第二高压管（12），第二高压管（12）的另一端连接在第一高压管（1）上的第一电磁阀（V2）和风冷机（3）之间，第二高压管（12）沿气流方向依次设有第三手动常开阀（C3）、第七电磁阀（V5）和第四手动常开阀（C6），六氟化硫提纯罐（8）内设有带温度传感器的加热管（13）、六氟化硫提纯罐（8）在靠近底部处设有第一温度传感器（T1），六氟化硫提纯罐（8）底部有第一称重传感器（TR1）。

4.根据权利要求3所述的六氟化硫和四氟化碳分离提纯系统，其特征在于：所述六氟化硫提纯管路包括第三高压管（14），第三高压管（14）一端连接有冷阱（15），第三高压管（14）另一端与六氟化硫提纯罐（8）连接，第三高压管（14）上由六氟化硫提纯罐（8）到冷阱（15）依次设有冷凝器（16）、第五手动常开阀（C4）、六氟化硫纯度仪（17）和第八电磁阀（D4），冷凝器（16）通过第四高压管（18）与第一制冷机（9）连接，第四高压管（18）上设有第九电磁阀（D2），冷阱（15）连接有第二制冷机（19）。

5.根据权利要求4所述的六氟化硫和四氟化碳分离提纯系统，其特征在于：所述四氟化碳提纯管路包括第五高压管（20）、第十五高压管（53）和四氟化碳提纯罐（21），第五高压管（20）的两端分别与冷阱（15）和四氟化碳提纯罐（21）连接，第五高压管（20）上由冷阱（15）到四氟化碳提纯罐（21）依次设有第三压力传感器（P3）、第二压力表（22）、第十电磁阀（V13）、第十一电磁阀（V14）、风冷器（23）、第六手动常开阀（C7）、第二压缩机（24）、风冷器（23）旁路、第二单向阀（25）、第二冷热交换器（26）、第十二电磁阀（DF3）和第七手动常开阀（C10）；在第二单向阀（25）的入口处设有第二压力控制开关（YL2），四氟化碳提纯罐（21）上设有第二温度传感器（T2）、四氟化碳纯度仪（27）和缓冲包（28），缓冲包（28）上设有第八手动常开阀（C8）和第一安全阀（29），在第八手动常开阀（C8）和第一安全阀（29）之间设有第三压力表（30）和第四压力传感器（P4）；第十五高压管（53）两端分别与六氟化硫提纯罐（8）和第二冷热交换器（26）连接，第十五高压管（53）上设有第二十一电磁阀（D3）和第二十二电磁阀（D6），第二冷热交换器（26）通过第二十一电磁阀（D3）连接有第三制冷机（54）。

6.根据权利要求5所述的六氟化硫和四氟化碳分离提纯系统，其特征在于：还包括六氟化硫余气回收管路，六氟化硫余气回收管路包括第六高压管（31）和第七高压管（32），第六高压管（31）一端与冷阱（15）连接，第六高压管（31）另一端连接在第二高压管（12）上的第七电磁阀（V5）和第四手动常开阀（C6）之间，第六高压管（31）上设有第十三电磁阀（V11）；第七高压管（32）的一端连接在第五高压管（20）上的第十电磁阀（V13）和第十一电磁阀（V14）之间，第七高压管（32）上沿气流依次设有第十四电磁阀（V12）、真空包（33）和对外抽真空接头（34）。