[实用新型]应用于晶圆/光罩载具的气阀结构及应用其的光罩传送盒

权利要求书

1.一种应用于晶圆／光罩载具的气阀结构，其特征在于，包含有： 

一下阀体，其具有一抵缘及多个第一栅片，其中所述抵缘自所述下阀体内缘底端向内凸伸，所述第一栅片自所述下阀体周缘向上凸伸，且相邻的所述第一栅片间形成有贯穿内外的一通孔，所述通孔与一导气阀形成气体流动；

一上阀体，其具有多个第二栅片，所述第二栅片自所述上阀体周缘向下凸伸且对应所述下阀体的第一栅片，且相邻的所述第二栅片间设有对应所述第一栅片的通孔；

一浮动阀块，其容设于所述下阀体内且贴抵于所述抵缘上；

一弹性件，其设置于所述浮动阀块与上阀体间，所述下阀体底面具有一对接槽，且所述对接槽的内底面具有一能与导气阀间形成气体流动间隙的导气部。

2.如权利要求1所述的气阀结构，其特征在于，所述下阀体于对应所述第一栅片的底端外缘分别形成有一嵌插孔，而所述上阀体于所述第二栅片的底端分别形成有一对应插掣的嵌插部，且所述上阀体、下阀体相对插掣盖合。

3.如权利要求1所述的气阀结构，其特征在于，所述浮动阀块与上阀体的相对面分别形成有一容槽，而所述弹性件撑设于两容槽间。

4.如权利要求1所述的气阀结构，其特征在于，所述导气部为形成于对接槽内面的十字形导槽。

5.如权利要求1所述的气阀结构，其特征在于，所述下阀体的第一栅片与上阀体的第二栅片间夹设有一用以过滤气体中粉尘的滤网。

6.一种光罩传送盒，其特征在于，包含一底座及一壳罩，所述壳罩相对所述底座盖合而形成一光罩的存放空间，所述底座具有一用以承托光罩的支撑组，且所述壳罩具有一用以限制导正光罩的导压组，所述底座上设有至少一用以选择性启闭的气阀结构；

所述气阀结构具有一环状的下阀体、一盖体状的上阀体及一浮动阀块，其中所述下阀体的内缘底端向内凸伸有一抵缘，且所述下阀体的周缘形成有多个向上凸伸的第一栅片，而相邻的所述第一栅片间形成有贯穿内外的通孔，所述上阀体的周缘形成有多个向下凸伸、且对应所述下阀体的第一栅片的第二栅片，而相邻的所述第二栅片间设有对应所述第一栅片的通孔，而所述浮动阀块容设于下阀体内且贴抵于所述抵缘上，且所述浮动阀块与上阀体间撑设有一弹性件，所述下阀体底面具有一对接槽，且所述对接槽的内底面具有一能与导气阀间形成气体流动间隙的导气部。

7.如权利要求6所述的光罩传送盒，其特征在于，所述气阀结构的下阀体于对应所述第一栅片的底端外缘分别形成有一嵌插孔，而所述上阀体于所述第二栅片的底端分别形成有一对应插掣的嵌插部，且所述上阀体、下阀体相对插掣盖合。

8.如权利要求6所述的光罩传送盒，其特征在于，所述气阀结构的浮动阀块与上阀体的相对面分别形成有一容槽，而所述弹性件撑设于两容槽间。

9.如权利要求6所述的光罩传送盒，其特征在于，所述下阀体的第一栅片与上阀体的第二栅片间夹设有一用以过滤气体中粉尘的滤网。