[实用新型]一种涂胶设备

说明书

技术领域

本实用新型涉及液晶显示器制造技术领域，具体地，涉及一种用在液晶显示器制造中的涂胶设备。

背景技术

液晶显示器（LCD：Liquid Crystal Display）因其体积小、功耗低、无辐射等特点已成为目前平板显示器中的主流产品。在液晶显示器的制造工艺中，通过光刻工艺进行图形转移。光刻工艺的其中一个步骤就是在玻璃基板上涂覆光刻胶。

现今的液晶显示器领域中的涂胶工艺中，主流的涂胶技术有直接刮涂（slit）方式、旋涂/甩胶（spin）方式以及刮涂与甩胶相结合（slit+spin）方式。在涂胶工艺中，最终的工艺参数是膜厚，在直接刮涂方式中，膜厚是由涂胶压力来决定的；在刮涂与甩胶相结合方式中，膜厚由涂胶压力和甩胶转速来决定，而无论哪种涂胶方式，涂胶压力均是由涂胶流量决定的。

在涂胶工艺中，以刮涂方式为例，可能由于设备结构本身的一些限制，如刮涂刀头堵塞、滤芯堵塞等影响，致使最终的膜厚受到多种因素影响而产生误差。但是，最终的膜厚结果目前通常是在产品完成之后的膜厚测试中才能检测出来，而无法在涂胶过程中对膜厚进行实时监测和控制，因此也无法对不符合规格的膜厚进行及时补救。参考图5，在涂胶过程中，盛放在胶液盛放器12中的胶液在压力瓶11中的压力作用下，经过滤器13到涂胶单元，由涂胶单元通过刮涂方式，或旋涂方式，或刮涂与甩胶相结合方式使胶液形成厚度均匀的薄膜。图5即为现有技术的涂胶设备通过刮涂方式进行涂胶的示意图。图6所示为对采用图5所示的涂胶设备形成的薄膜厚度进行测试得到的试验样图。图6中，对应测试抽样点设定的参考膜厚如“测试1”线条所示，而实际得到的两组测试膜厚如“流片1”和“流片2”线条所示。从图6中可清楚地看到，实际膜厚与设定膜厚存在较大的误差。究其原因，实际膜厚与设定膜厚存在误差且一直未得到校正，是因为涂胶设备中缺少对涂胶膜厚进行检测的单元，因此导致膜厚测试结果探知较晚。在薄膜产品完成后才发现膜厚结果超出参数规格，将会严重影响到产品质量，进而影响显示装置的显示效果。

实用新型内容

本实用新型旨在解决现有技术中存在的技术问题，提出了一种涂胶设备，其对涂胶膜厚可以进行实时监测，对涂胶膜厚的异常能够提前预防并进行实时补救，从而提高了涂胶工艺的稳定性。

为实现上述目的，本实用新型提供了一种涂胶设备，用于对基板进行涂胶，包括胶液供给单元、涂胶单元，在所述胶液供给单元与所述涂胶单元之间还设有用于对胶液流量进行监测的监控单元，所述监控单元分别与所述胶液供给单元和所述涂胶单元连接。

优选的是，所述监控单元包括流量监测模块以及处理模块，所述胶液供给单元中的胶液经所述流量监测模块流至所述涂胶单元，所述处理模块与所述流量监测模块电连接，所述流量监测模块将监测得到的胶液的实时流量值传送到所述处理模块。

优选的是，所述监控单元还包括流量调节模块，所述流量调节模块与所述处理模块电连接，所述处理模块内预存有流量上限值和流量下限值，所述处理模块对接收到的胶液的实时流量值与所述流量上限值和流量下限值分别进行比较，并将比较结果传送到所述流量调节模块；所述流量调节模块用于接收所述处理模块的比较结果，并根据比较结果对胶液流量进行实时调节。

优选的是，所述监控单元还包括信号放大模块，所述信号放大模块设置在所述流量监测模块与所述处理模块之间，所述信号放大模块用于将胶液的实时流量信号进行放大，并将放大后的实时流量信号传送到所述处理模块。

优选的是，所述监控单元还包括报警模块，所述报警模块与所述处理模块电连接，所述报警模块用于接收所述处理模块的比较结果，并根据比较结果进行报警。

优选的是，所述涂胶单元包括出液口以及涂胶刀头，所述出液口设置在所述涂胶刀头的下端，从所述出液口流出的胶液，经所述涂胶刀头刮涂在所述基板表面形成均匀厚度的薄膜；

或者，所述涂胶单元包括出液口、旋转模块以及与所述旋转模块连接的甩胶速度控制模块，所述旋转模块设置在所述出液口的下方，从所述出液口流出的胶液经所述旋转模块甩涂在所述基板表面形成均匀厚度的薄膜；

或者，所述涂胶单元包括出液口、涂胶刀头、旋转模块以及与所述旋转模块连接的甩胶速度控制模块，所述出液口设置在所述涂胶刀头的下端，所述旋转模块设置在所述涂胶刀头的下方，从所述出液口流出的胶液经所述涂胶刀头刮涂与所述旋转模块甩涂的共同作用在所述基板表面形成均匀厚度的薄膜。