[实用新型]晶圆涂蜡台

权利要求书

1.晶圆涂蜡台，其特征在于：包括带有边缘凸台（311）的旋转台（31），旋转台（31）的内部台阶（312）带有通孔，导气导蜡台（32）装在所述通孔内并与旋转台（31）底部留有空间（317），导气导蜡台（32）带有导气导蜡孔（321），导气导蜡孔（321）为喇叭形通孔；旋转台（31）的内部台阶（312）高于导气导蜡台（32），内部台阶（312）上设置有涂蜡层（313），涂蜡层（313）与边缘凸台（311）之间均布有边缘排蜡槽（314），边缘排蜡槽（314）为贯通槽；相邻边缘排蜡槽（314）的连接段上设有连通流道（315），连通流道（315）设置在靠近涂蜡层（313）一侧；涂蜡层（313）上均布有导气导蜡流道（316），导气导蜡流道（316）将导气导蜡台（32）和边缘排蜡槽（314）、连通流道（315）连通，导气导蜡流道（316）的底面与导气导蜡台（32）上端面处于同一水平面。

2.按权利要求1所述的晶圆涂蜡台，其特征在于：所述边缘排蜡槽（314）为共圆心腰形贯通槽。

3.按权利要求1所述的晶圆涂蜡台，其特征在于：所述导气导蜡流道（316）形状为矩形或梯形。