[实用新型]半导体封装划片清洗设备用固定座有效
申请号: | 201320226639.2 | 申请日: | 2013-04-28 |
公开(公告)号: | CN203210232U | 公开(公告)日: | 2013-09-25 |
发明(设计)人: | 方浩;诸伟 | 申请(专利权)人: | 江阴苏阳电子股份有限公司 |
主分类号: | B25B11/00 | 分类号: | B25B11/00;B08B13/00 |
代理公司: | 江阴市同盛专利事务所(普通合伙) 32210 | 代理人: | 唐纫兰;曾丹 |
地址: | 214421 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 半导体 封装 划片 清洗 备用 固定 | ||
【权利要求书】:
1.一种半导体封装划片清洗设备用固定座,它包括固定座圆盘(1),所述固定座圆盘(1)的正面设置有吸气层(2),所述固定座圆盘(1)的背面中心设置有一个抽气孔(3),所述抽气孔(3)与吸气层(2)连接,其特征在于所述固定座圆盘(1)上设置有一圈内固定孔(4)以及一圈外固定孔(5)。
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