[实用新型]用于硅太阳能电池制造工段PECVD镀膜的气路系统

权利要求书

1.用于硅太阳能电池制造工段PECVD镀膜的气路系统，该气路系统包括管路接口（1）、进气管路（2）、一级分支管路（4）、二级分支管路（6）和均流管路（7），所述管路接口（1）连接在进气管路（2）的进气端，所述的一级分支管路（4）为一根管路，进气管路（2）的出气端与一级分支管路（4）位于中部的管段相连通，所述的二级分支管路（6）为两根管路，两根二级分支管路（6）并排设置，一级分支管路（4）位于两端的两个出气端分别与两根二级分支管路（6）位于中部的管段相连通，两根二级分支管路（6）的出气端均与所述的均流管路（7）相连通，所述均流管路（7）上均匀开设有多个均流气孔，其特征在于：所述的均流气孔为螺丝孔（9），每一个螺丝孔（9）内均安装一颗具有上下贯通的气道的中空螺丝（10），气体从管路接口（1）进入，最后经中空螺丝（10）的气道后吹扫出来。

2.根据权利要求1所述的用于硅太阳能电池制造工段PECVD镀膜的气路系统，其特征在于：所述一级分支管路（4）在位于中部的管段上安装有三通接头（3），该三通接头（3）中的其中两个接口分别与一级分支管路（4）相连通，另一个接口与进气管路（2）的出气端相连通。

3.根据权利要求1所述的用于硅太阳能电池制造工段PECVD镀膜的气路系统，其特征在于：所述的两根二级分支管路（6）中，每一根二级分支管路（6）在位于中部的管段上均安装有一个三通接头（5），该三通接头（3）中的其中两个接口分别与二级分支管路（6）相连通，另一个接口与一级分支管路（4）位于其中一端的出气端相连通。

4.根据权利要求1至3任一项所述的用于硅太阳能电池制造工段PECVD镀膜的气路系统，其特征在于：所述的中空螺丝（10）包括头部（102）和杆部（101），中空螺丝（10）的气道包括自上向下开设的出口圆孔（103）、颈部圆孔（104）、锥孔（105）和入口圆孔（106），所述的出口圆孔（103）、颈部圆孔（104）、锥孔（105）和入口圆孔（106）相连通，入口圆孔（106）的下孔口与均流管路（7）相连通，上孔口与锥孔（105）相连通，所述锥孔（105）为上小下大的锥形孔，锥孔（105）的上孔径与颈部圆孔（104）的孔径相同，锥孔（105）的下孔径与入口圆孔（104）的孔径相同，所述出口圆孔（103）开设在中空螺丝（10）的头部（102），出口圆孔（103）的孔径大于锥孔（105）的上孔径。

5.根据权利要求4所述的用于硅太阳能电池制造工段PECVD镀膜的气路系统，其特征在于：所述出口圆孔（103）、颈部圆孔（104）、锥孔（105）和入口圆孔（106）的中心线均相重合。