[实用新型]MEMS麦克风有效
| 申请号： | 201320236324.6 | 申请日： | 2013-05-03 |
| 公开（公告）号： | CN203279171U | 公开（公告）日： | 2013-11-06 |
| 发明（设计）人： | 蔡孟锦 | 申请（专利权）人： | 歌尔声学股份有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人： | 陈英俊 |
| 地址： | 261031 山东省潍*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | mems 麦克风 | ||
【权利要求书】：
1.一种MEMS麦克风，包括基底、背极板、振膜、绝缘层、支撑层和电极；其特征在于，
所述背极板包括第一背极板和第二背极板，所述绝缘层包括第一绝缘层、第二绝缘层和第三绝缘层，所述支撑层包括第一支撑层和第二支撑层；
所述第一绝缘层设置在所述基底和所述第一背极板之间，所述第二绝缘层设置在所述第一背极板的上方；
所述第一支撑层设置在所述第二绝缘层和所述振膜之间，所述第二支撑层设置在所述振膜和所述第三绝缘层之间，其中，在所述振膜上设置有向所述第二绝缘层方向延伸的振膜突出件，在所述第三绝缘层上设置有向所述振膜方向延伸的绝缘层突出件；
其中，所述第二背极板设置在所述第三绝缘层上方；
所述电极分别设置在所述第一背极板和所述第二背极板上。
2.如权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，
在所述第一背极板和所述第二背极板上均设置有多个通孔；
所述第一背极板和所述第二背极板上的通孔分别与所述第一绝缘层和所述第二绝缘层上的通孔一一对应。
3.如权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，
设置在所述第一支撑层和所述第二支撑层之间的所述振膜与所述第二绝缘层和第三绝缘层之间分别形成所述振膜振动的空气间隙。
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