[实用新型]一种钛基钯膜微天平传感器有效
| 申请号： | 201320238367.8 | 申请日： | 2013-05-06 |
| 公开（公告）号： | CN203203893U | 公开（公告）日： | 2013-09-18 |
| 发明（设计）人： | 曹忠;吴玲;曹婷婷;黄大凯;宋天铭;肖忠良 | 申请（专利权）人： | 长沙理工大学 |
| 主分类号： | G01N5/00 | 分类号： | G01N5/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 410004 湖南省长沙市雨花区万家*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 钛基钯膜微 天平 传感器 | ||
【权利要求书】：
1.一种钛基钯膜微天平传感器，其特征是：该传感器包括一个石英晶体片(1)，所述石英晶体片(1)表面是镀钛膜层(2)，所述镀钛膜层(2)表面是镀钯膜层(3)，形成一种钛基钯膜微天平传感器。
2.根据权利要求1所述的微天平传感器，其特征在于所述镀钛膜层(2)厚度为1 ~ 50 nm。
3. 根据权利要求1所述的微天平传感器，其特征在于所述镀钯膜层(3)厚度为20 ~ 400 nm。
4. 根据权利要求1所述的微天平传感器，其特征在于所述石英晶体片(1)为AT切型石英晶体，其基频为4 ~ 50 MHz。
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