[实用新型]一种磁栅尺精密测量仪

权利要求书

1.一种磁栅尺精密测量仪，其特征在于，包括：

定片刻度盘，其包括沿其长度方向排列的多个磁传感器芯片，每个所述磁传感器芯片包括至少两条彼此平行的磁感应薄膜和焊盘，所述焊盘与所述磁感应薄膜电连接，所述磁感应薄膜连接成具有独立输出通道的惠斯通电桥；

移动磁极，其沿所述定片刻度盘的长度方向移动，所述移动磁极产生的磁场可使与其位置相对的所述磁传感器芯片感应并输出差分信号；

信号处理单元，其用于根据所述差分信号获得所述移动磁极在所述定片刻度盘的相对位置，并将其转换成所测量器件的长度尺寸；

显示单元，其用于显示所测量器件的长度尺寸。

2.根据权利要求1所述的磁栅尺精密测量仪，其特征在于，所述磁传感器芯片在所述定片刻度盘的长度方向上纵向排列设置。

3.根据权利要求1所述的磁栅尺精密测量仪，其特征在于，在所述定片刻度盘的长度方向上，相邻两个所述磁传感器芯片错位排列。

4.根据权利要求1所述的磁栅尺精密测量仪，其特征在于，所述磁感应薄膜在其长度方向错位设置。

5.根据权利要求1所述的磁栅尺精密测量仪，其特征在于，所述磁敏感薄膜包括巨磁阻磁敏感薄膜、各向异性磁阻磁敏感薄膜、隧穿效应磁阻磁敏感薄膜、巨磁阻抗效应磁阻磁敏感薄膜、霍尔效应薄膜或巨霍尔效应薄膜。

6.根据权利要求1所述的磁栅尺精密测量仪，其特征在于，包括印制电路板，设于所述印制电路板的布线通过所述焊盘与所述磁感应薄膜电连接，所述差分信号通过所述印制线路板传输至所述信号处理单元。

7.根据权利要求1所述的磁栅尺精密测量仪，其特征在于，所述移动磁极包括永磁体和屏蔽壳,所述屏蔽壳包含至少一条狭缝使得所述永磁体置于所述屏蔽壳内，并使所述永磁体的磁场通过狭缝向所对应的磁敏感薄膜发射出去。

8.根据权利要求1所述的磁栅尺精密测量仪，其特征在于，包括复位单元，其用于使所述信号处理单元复位，以及使所述显示单元的读数归零。

9.根据权利要求1所述的磁栅尺精密测量仪，其特征在于，所述磁栅尺精密测量仪为游标卡尺，所述定片刻度盘设于所述游标卡尺的主尺；所述移动磁极设于所述游标卡尺的游标上。

10.根据权利要求1所述的磁栅尺精密测量仪，其特征在于，所述磁栅尺精密测量仪为螺旋测微器，将一套所述定片刻度盘和所述移动磁极分别设于测微螺杆和主尺；同时将另一套所述定片刻度盘和所述移动磁极分别设于螺旋尺和主尺；或者，将移动磁极设于主尺，将两个所述定片刻度盘分别设于测微螺杆和螺旋尺。